模块、零件,以及验收的决定因素
典型组合,请当作起点来读。您的设备厂规范优先于其中任何一项。
| 模块 | 机加工零件 | 常用材料 | 常用表面处理 | 验收的决定因素 |
|---|---|---|---|---|
| 刻蚀 | 腔体本体、内衬、气体分配板、顶针和环类部件 | 6061-T6、陶瓷、硅和SiC零件 | Type III硬质阳极氧化、热喷涂氧化钇 | 边缘和孔处的涂层完整性、颗粒表现、没有裸露的铝暴露在等离子体中 |
| CVD与ALD | 腔体本体、喷淋头毛坯、加热基座本体、抽气环 | 6061-T6、316L | 硬质阳极氧化、加工态铝、电解抛光 | 整个喷淋头上孔的一致性、工作温度下的平面度、清洁度 |
| PVD | 防护罩、沉积环和盖环、腔体本体、磁体部件 | 316L、钛、铝、铜 | 用于膜附着的喷珠或电弧喷涂纹理 | 能留住沉积膜的表面纹理,能承受剥离和重新做纹理的几何形状 |
| 离子注入 | 束线部件、离子源腔体零件、光阑、安装座 | 石墨、钨、钼、铝、不锈钢 | 加工态并清洗 | 材料纯度、剥落和溅射表现、高真空结构 |
| CMP | 载具头零件、保持环、浆料集成块、抛光台部件 | PPS、PEEK、316L、带涂层的铝 | 加工态、钝化 | 平面度、耐化学性、浆料通路中没有金属脱落 |
| 湿法清洗 | 槽体零件、集成块、吸盘和喷嘴零件 | PVDF、PFA、PTFE、聚丙烯 | 机加工并塑料焊接 | 化学兼容性、低溶出物、密封性 |
| 气体输送 | 集成块、表贴式基板、阀门和管接头本体 | 316L、316L VIM-VAR | 电解抛光和钝化 | 接触气体面的Ra、氦泄漏率、颗粒与水分表现 |
| 加载锁与传送 | 传送腔体本体、狭缝阀零件、盖板、波纹管法兰 | 6061-T6、316L | 阳极氧化、电解抛光 | 密封面的平面度和表面质量、泄漏率、抽真空时的刚度 |
| EFEM与晶圆传送 | 末端执行器、对准器零件、装载口与机械手支架、框架 | 6061-T6、陶瓷、PEEK | 硬质阳极氧化、透明阳极氧化 | 平面度、颗粒产生、有规定时的ESD表现 |
| 量测与检测 | 平台、传感器与光学安装座、刚性好质量轻的支架 | 6061-T6、低膨胀合金、陶瓷 | 阳极氧化、黑色阳极氧化 | 刚度、热稳定性、安装面的平面度 |
| Subfab与真空 | 前级管路转接件、KF、ISO和CF法兰、泵支架 | 304L、316L、铝 | 钝化、喷珠 | 泄漏率,以及按ISO 2861、ISO 1609或ISO 3669的法兰尺寸 |
这些模块所执行的工艺步骤的背景:半导体器件制造。
工艺侧还是大气侧
同一块6061板可以变成这两种零件中的任何一种。它最终在壁的哪一侧,几乎改变了机加工之后的一切。
工艺侧与真空侧
- 按工艺化学选择材料和涂层
- 密封面标注Ra和纹理方向
- 带排气的紧固件,没有封闭空间
- 精密清洗、双层包装,有时需要烘烤
- 泄漏测试和尺寸检验报告作为交付物
大气侧
- 按刚度、重量和成本选材
- Type II阳极氧化、化学镀镍或喷漆很常见
- 平面度和孔位仍决定能否装配
- 除油并装袋通常就够了
- 检验定位其他零件的那些特征
值得阅读的零件类别
每篇指南从上表选一类零件,讲规格、成本和该问的问题。
等离子体接触
带涂层的铝、硅和SiC。
- 耐等离子体涂层
- 硅和SiC刻蚀零件
该告诉工厂零件用在哪里
图纸展示形状。这六行告诉工厂这个形状要经受什么,而且写出来不花钱。
- 模块与腔体一侧哪个设备模块,以及零件接触的是工艺、仅真空,还是大气。询价中的一行就会改变适合的工厂。
- 工艺化学氟、氯或溴化学,氧等离子体,或都没有。它决定涂层,以及能否接受裸铝或镍。
- 温度与烘烤工作温度和任何烘烤循环。它影响铝与不锈钢的选择,并排除一些聚合物。
- 真空度粗真空、高真空或超高真空。它决定焊接设计、清洗和检漏。
- 新制、备件或翻新将被剥除并重新镀涂层的零件,需要为此留出余量。按旧图纸制作的备件可能要先核对最新版本。
- 现有规范清洗流程、包装标准、限制材料清单或认证要求。请与图纸一起发来,而不是报价之后。
询价表单中有材料、表面处理、清洁度和供应商地区的字段。其他内容请写在说明里。要全面了解半导体加工厂有哪些不同做法,请阅读半导体设备用机加工零件。
关于应用的问题
哪些模块最难采购?
把等离子体接触涂层与严格几何形状结合在一起的零件,以及标有电解抛光和泄漏率的接触气体316L零件。两种情况下,机加工都是容易的那一半。表面处理链条非常专业,能从头到尾掌控它的工厂不多。
对于只剩一个磨损样品的旧设备零件,你们能匹配吗?
请把您手上有的发来。没有图纸的样品属于逆向工程,只有一部分工厂会报价。我们会在24个工作小时内告诉您能否匹配,明确回答做不了也是可能的结果。
我能发送其他真空设备的零件,而不只是晶圆设备的吗?
可以,只要零件带有同类规格:真空级材料、密封面、表面处理和清洁度标注。薄膜镀膜、分析仪器和科研真空零件属于同样的类别。
模块会改变谁能看到我的图纸吗?
不会。它改变的是哪些工厂合适。工厂最先看到的是不含姓名、不含文件的预览,您的文件只会发给我们匹配的工厂,最多 3 家。