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Peças Usinadas por Módulo de Máquina de Semicondutores
O módulo diz à oficina com o que a peça vai conviver: plasma, gás de processo, calor, vácuo ou só um robô. Isso decide o material, o acabamento e a limpeza antes de decidir a tolerância.
Módulos, peças e o que decide a aceitação
Combinações típicas, lidas como ponto de partida. A especificação do fabricante da sua máquina prevalece sobre qualquer uma delas.
| Módulo | Peças usinadas | Material usual | Acabamento usual | O que decide a aceitação |
|---|---|---|---|---|
| Etch | Corpos de câmara, liners, placas de distribuição de gás, hardware de pinos de elevação e anéis | 6061-T6, cerâmicas, peças de silício e SiC | Anodização dura Tipo III, ítria por aspersão térmica | Integridade do revestimento em arestas e furos, comportamento de partículas, nenhum alumínio nu exposto ao plasma |
| CVD e ALD | Corpos de câmara, blanks de showerhead, corpos de pedestal aquecido, anéis de bombeamento | 6061-T6, 316L | Anodização dura, alumínio usinado sem revestimento, eletropolimento | Uniformidade dos furos no showerhead, planicidade em temperatura, limpeza |
| PVD | Blindagens, anéis de deposição e de cobertura, corpos de câmara, hardware de ímãs | 316L, titânio, alumínio, cobre | Jateamento ou textura por arco para aderência do filme | Textura superficial que segura o filme depositado, geometria que sobrevive ao strip e à retexturização |
| Implantação iônica | Hardware de linha de feixe, peças de câmara da fonte, aberturas, suportes | Grafite, tungstênio, molibdênio, alumínio, inox | Usinado e limpo | Pureza do material, descamação e comportamento de sputtering, estrutura de alto vácuo |
| CMP | Peças de cabeça carrier, anéis de retenção, manifolds de slurry, hardware de platen | PPS, PEEK, 316L, alumínio revestido | Usinado, passivado | Planicidade, resistência química, nenhum metal liberado no caminho do slurry |
| Limpeza úmida | Peças de tanque, manifolds, peças de chuck e de bocal | PVDF, PFA, PTFE, polipropileno | Usinado e soldado em plástico | Compatibilidade química, baixos extraíveis, estanqueidade |
| Distribuição de gás | Blocos de manifold, substratos de montagem em superfície, corpos de válvulas e conexões | 316L, 316L VIM-VAR | Eletropolimento e passivação | Ra em contato com o fluido, taxa de vazamento com hélio, comportamento de partículas e umidade |
| Load lock e transferência | Corpos de câmara de transferência, peças de slit valve, tampas, flanges de fole | 6061-T6, 316L | Anodização, eletropolimento | Planicidade e acabamento da face de vedação, taxa de vazamento, rigidez durante o bombeamento |
| EFEM e manuseio de wafers | End effectors, peças de aligner, suportes de load port e de robô, estruturas | 6061-T6, cerâmicas, PEEK | Anodização dura, anodização transparente | Planicidade, geração de partículas, comportamento ESD onde especificado |
| Metrologia e inspeção | Mesas, suportes de sensores e ótica, suportes rígidos de baixa massa | 6061-T6, ligas de baixa expansão, cerâmicas | Anodização, anodização preta | Rigidez, estabilidade térmica, planicidade das faces de fixação |
| Subfab e vácuo | Adaptadores de foreline, flanges KF, ISO e CF, suportes de bomba | 304L, 316L, alumínio | Passivação, jateamento | Taxa de vazamento e dimensões de flange conforme ISO 2861, ISO 1609 ou ISO 3669 |
Contexto sobre as etapas de processo que esses módulos executam: fabricação de dispositivos semicondutores.
Lado do processo ou lado da atmosfera
A mesma chapa 6061 pode virar qualquer uma das peças. De que lado da parede ela termina muda quase tudo o que vem depois da usinagem.
Lado do processo e do vácuo
- Material e revestimento escolhidos pela química do processo
- Faces de vedação com indicações de Ra e direção das marcas
- Fixadores ventilados e nenhum volume preso
- Limpeza de precisão, saco duplo, às vezes um bake
- Teste de vazamento e relatório dimensional como entregas
Lado da atmosfera
- Material escolhido por rigidez, peso e custo
- Anodização Tipo II, níquel químico ou pintura são comuns
- Planicidade e posição dos furos ainda decidem o ajuste
- Desengraxar e ensacar costuma bastar
- Inspeção nas features que posicionam outras peças
Classes de peças que vale conhecer
Cada guia pega uma família da tabela acima e percorre especificações, custo e as perguntas a fazer.
Câmara de processo
Corpos, tampas, showerheads e pedestais.
- Furação de showerheads de gás
- Especificações de chuck de wafer e pedestal
- Peças de blindagem de PVD e implantação
Transferência e manuseio
Load locks, slit valves, robôs e EFEM.
- Peças de load lock e câmara de transferência
- Peças de slit valve e válvula gaveta
- Estruturas de EFEM e suportes de robô
Polimento e processo úmido
Carriers de CMP, anéis e peças do lado químico.
- Cabeças carrier e anéis de CMP
- Peças de PFA, PVDF e PEEK
Voltadas ao plasma
Alumínio revestido, silício e SiC.
- Revestimentos resistentes ao plasma
- Peças de etch de silício e SiC
O que dizer à oficina sobre onde a peça vai
Um desenho mostra a forma. Estas seis linhas dizem à oficina o que a forma precisa suportar, e não custam nada para escrever.
- Módulo e lado da câmaraQual módulo da máquina e se a peça vê o processo, só o vácuo ou a atmosfera. Uma linha na RFQ muda as oficinas que se encaixam.
- Química do processoQuímica de flúor, cloro ou bromo, plasma de oxigênio ou nenhuma. Ela decide o revestimento e se alumínio nu ou níquel é aceitável.
- Temperatura e bakeTemperatura de serviço e qualquer ciclo de bake. Ela desloca a escolha entre alumínio e inox e exclui alguns polímeros.
- Nível de vácuoVácuo grosso, alto ou ultra-alto. Ele define o projeto da solda, a limpeza e o teste de vazamento.
- Peça nova, reposição ou recondicionamentoUma peça que será removida e revestida de novo precisa de material deixado para isso. Uma reposição feita a partir de um desenho antigo pode precisar antes da revisão atual.
- Especificações existentesProcedimento de limpeza, padrão de embalagem, lista de materiais restritos ou requisitos de qualificação. Envie-os com o desenho, não depois da cotação.
O formulário de RFQ tem campos para material, acabamento, limpeza e região de fornecedor. O que mais houver vai na descrição. Para o quadro completo do que uma oficina de semicondutores faz de diferente, leia peças usinadas para equipamentos de semicondutores.
Perguntas sobre aplicações
Quais módulos são os mais difíceis de suprir?
Peças que combinam revestimentos voltados ao plasma com geometria apertada e peças de 316L em contato com o gás com indicações de eletropolimento e taxa de vazamento. Nos dois casos a usinagem é a metade mais fácil. A cadeia de acabamento é especializada e poucas oficinas a controlam de ponta a ponta.
Vocês atendem peças de máquinas antigas que só existem como uma amostra gasta?
Envie o que você tem. Uma amostra sem desenho é um trabalho de engenharia reversa, e só algumas oficinas cotam isso. Dizemos em até 24 horas úteis se conseguimos atender, e um não direto é uma resposta possível.
Posso enviar peças de outros equipamentos de vácuo, não só de máquinas de wafer?
Sim, quando a peça traz o mesmo tipo de especificação: material em grau de vácuo, uma face de vedação, um acabamento e uma indicação de limpeza. Peças de deposição de filmes finos, de instrumentos analíticos e de vácuo para pesquisa entram nas mesmas famílias.
O módulo muda quem vê o meu desenho?
Não. Ele muda quais oficinas se encaixam. As oficinas veem primeiro uma prévia sem nome e sem arquivos, e seus arquivos vão apenas às oficinas que encaminhamos, até 3.
Diga o módulo, envie o desenho
Lemos o módulo, o lado da câmara e a especificação e oferecemos a RFQ a até 3 oficinas que já fazem essa classe de peça. Primeira resposta em até 24 horas úteis.
- MateriaisClasses e designações para cada módulo.
- ProcessosO caminho do material bruto até a peça ensacada.
- Fatores de custoO que move o preço em peças de câmara e de manuseio.