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반도체 장비 모듈별 기계 가공 부품
모듈을 알면 업체는 부품이 무엇과 함께 있게 될지 압니다. 플라즈마인지, 공정 가스인지, 열인지, 진공인지, 로봇뿐인지입니다. 이것이 공차보다 먼저 재질, 마감, 세정을 결정합니다.
모듈, 부품, 합격을 좌우하는 요소
통상적인 조합이며 출발점으로 읽으십시오. 장비 제조사의 사양이 이들 어느 것보다 우선합니다.
| 모듈 | 기계 가공 부품 | 통상 재료 | 통상 마감 | 합격을 좌우하는 요소 |
|---|---|---|---|---|
| 식각 | 챔버 본체, 라이너, 가스 분배 플레이트, 리프트 핀 및 링 부품 | 6061-T6, 세라믹, 실리콘 및 SiC 부품 | Type III 경질 아노다이즈, 이트리아 용사 | 모서리와 구멍에서의 코팅 건전성, 파티클 거동, 플라즈마에 노출되는 알루미늄 맨살 없음 |
| CVD 및 ALD | 챔버 본체, 샤워헤드 블랭크, 히터 페데스탈 본체, 펌핑 링 | 6061-T6, 316L | 경질 아노다이즈, 가공한 알루미늄 그대로, 전해연마 | 샤워헤드 전체의 구멍 균일성, 온도에서의 평탄도, 청결도 |
| PVD | 실드, 증착 링과 커버 링, 챔버 본체, 마그넷 부품 | 316L, 티타늄, 알루미늄, 구리 | 막 접착을 위한 비드 블라스트 또는 아크 용사 텍스처 | 증착된 막을 붙잡는 표면 텍스처, 박리와 재텍스처링을 견디는 형상 |
| 이온 주입 | 빔라인 부품, 소스 챔버 부품, 어퍼처, 마운트 | 흑연, 텅스텐, 몰리브덴, 알루미늄, 스테인리스 | 가공 상태 그대로 및 세정 | 재료 순도, 박리와 스퍼터 거동, 고진공 구조부 |
| CMP | 캐리어 헤드 부품, 리테이닝 링, 슬러리 매니폴드, 플래튼 부품 | PPS, PEEK, 316L, 코팅한 알루미늄 | 가공 상태 그대로, 부동태화 | 평탄도, 내화학성, 슬러리 경로로 금속이 떨어지지 않을 것 |
| 습식 세정 | 탱크 부품, 매니폴드, 척 및 노즐 부품 | PVDF, PFA, PTFE, 폴리프로필렌 | 기계 가공 및 플라스틱 용접 | 약액 적합성, 낮은 용출물, 기밀성 |
| 가스 공급 | 매니폴드 블록, 서피스 마운트 기판, 밸브 및 피팅 본체 | 316L, 316L VIM-VAR | 전해연마 및 부동태화 | 접가스면 Ra, 헬륨 누설률, 파티클과 수분 거동 |
| 로드락 및 이송 | 이송 챔버 본체, 슬릿 밸브 부품, 리드, 벨로우즈 플랜지 | 6061-T6, 316L | 아노다이즈, 전해연마 | 실링면 평탄도와 마감, 누설률, 배기 중 강성 |
| EFEM 및 웨이퍼 핸들링 | 엔드 이펙터, 얼라이너 부품, 로드 포트 및 로봇 브래킷, 프레임 | 6061-T6, 세라믹, PEEK | 경질 아노다이즈, 투명 아노다이즈 | 평탄도, 파티클 발생, 지정된 경우 ESD 거동 |
| 계측 및 검사 | 스테이지, 센서 및 광학 마운트, 강성이 높고 질량이 작은 브래킷 | 6061-T6, 저열팽창 합금, 세라믹 | 아노다이즈, 흑색 아노다이즈 | 강성, 열 안정성, 장착면 평탄도 |
| 서브팹 및 진공 | 포어라인 어댑터, KF, ISO, CF 플랜지, 펌프 브래킷 | 304L, 316L, 알루미늄 | 부동태화, 비드 블라스트 | 누설률과 ISO 2861, ISO 1609 또는 ISO 3669에 따른 플랜지 치수 |
이 모듈들이 수행하는 공정 단계의 배경은 반도체 소자 제조를 참고하십시오.
공정측인가 대기측인가
같은 6061 플레이트가 둘 중 어느 부품도 될 수 있습니다. 벽의 어느 쪽에 놓이느냐가 기계 가공 이후의 거의 모든 것을 바꿉니다.
공정 및 진공측
- 공정 화학에 맞춰 고른 재료와 코팅
- Ra와 가공 결 지정이 있는 실링면
- 벤트 체결 부품과 갇힌 공간 없음
- 정밀 세정, 이중 포장, 때로는 베이크
- 누설 시험과 치수 검사 성적서를 납품물로
대기측
- 강성, 무게, 비용으로 고른 재료
- Type II 아노다이즈, 무전해 니켈, 도장이 흔함
- 평탄도와 구멍 위치가 여전히 조립을 좌우
- 탈지와 백 포장이면 대개 충분
- 다른 부품의 위치를 잡는 형상에 대한 검사
읽어 둘 만한 부품군
각 가이드는 위 표에서 한 부품군을 골라 사양, 비용, 물어볼 질문을 다룹니다.
플라즈마 접촉
코팅한 알루미늄, 실리콘, SiC.
- 내플라즈마 코팅
- 실리콘 및 SiC 식각 부품
부품이 어디에 쓰이는지 업체에 알려 줄 것
도면은 형상을 보여 줍니다. 이 여섯 줄은 그 형상이 무엇을 견뎌야 하는지 업체에 알려 주며, 적는 데는 비용이 들지 않습니다.
- 모듈과 챔버 측어느 장비 모듈인지, 부품이 공정, 진공만, 대기 중 무엇에 노출되는지. 견적 요청의 한 줄이 맞는 업체를 바꿉니다.
- 공정 화학불소, 염소, 브롬 계열인지, 산소 플라즈마인지, 해당 없음인지. 코팅과 알루미늄 맨살 또는 니켈이 허용되는지를 결정합니다.
- 온도와 베이크사용 온도와 베이크 사이클. 알루미늄과 스테인리스의 선택을 움직이며 일부 폴리머를 배제합니다.
- 진공도저진공, 고진공, 초고진공 중 어느 것인지. 용접 설계, 세정, 누설 시험을 정합니다.
- 신규 제작, 예비품, 재생벗겨서 다시 코팅할 부품에는 그를 위한 여유 소재를 남겨야 합니다. 오래된 도면으로 만드는 예비품은 먼저 최신 개정판이 필요할 수 있습니다.
- 기존 사양세정 절차, 포장 기준, 사용 제한 재료 목록, 인증 요건. 견적 후가 아니라 도면과 함께 보내 주십시오.
RFQ 양식에는 재료, 마감, 청결도, 공급 지역 입력란이 있습니다. 그 밖의 것은 설명란에 적으십시오. 반도체 가공업체가 무엇을 다르게 하는지 전체 그림을 보려면 반도체 장비용 기계 가공 부품을 읽으십시오.
적용 분야에 대한 질문
조달하기 가장 어려운 모듈은 어느 것입니까
플라즈마 접촉 코팅과 엄격한 형상이 결합된 부품, 그리고 전해연마와 누설률 지정이 있는 접가스 316L 부품입니다. 두 경우 모두 기계 가공은 쉬운 쪽 절반입니다. 표면 처리 체인은 전문적이고, 이를 처음부터 끝까지 관리하는 업체는 많지 않습니다.
마모된 샘플만 남은 구형 장비의 부품도 매칭합니까
가지고 계신 것을 보내 주십시오. 도면 없는 샘플은 리버스 엔지니어링 작업이며 견적을 내는 업체는 일부뿐입니다. 매칭할 수 있는지 24 영업시간 이내에 알려 드리며, 어렵다는 답도 있을 수 있습니다.
웨이퍼 장비가 아닌 다른 진공 장비 부품도 보낼 수 있습니까
예. 진공 등급 재료, 실링면, 마감, 청결도 지정처럼 같은 종류의 사양이 붙은 부품이라면 가능합니다. 박막 코팅, 분석 장비, 연구용 진공 부품도 같은 부품군에 속합니다.
모듈에 따라 제 도면을 보는 사람이 달라집니까
아니요. 달라지는 것은 어떤 업체가 맞느냐입니다. 업체는 먼저 이름도 파일도 없는 미리보기를 보며, 파일은 저희가 매칭한 최대 3개 업체에만 전달됩니다.