Home / Toepassingen
Bewerkte Onderdelen per Module van Halfgeleidermachines
De module vertelt een bedrijf waarmee het onderdeel moet leven: plasma, procesgas, hitte, vacuüm of alleen een robot. Dat bepaalt het materiaal, de afwerking en de reiniging voordat het de tolerantie bepaalt.
Modules, onderdelen en wat de acceptatie bepaalt
Gebruikelijke combinaties, te lezen als beginpunt. De specificatie van uw machinefabrikant gaat boven elk daarvan.
| Module | Bewerkte onderdelen | Gebruikelijk materiaal | Gebruikelijke afwerking | Wat de acceptatie bepaalt |
|---|---|---|---|---|
| Etch | Kamerlichamen, liners, gasverdeelplaten, hardware voor liftpennen en ringen | 6061-T6, keramiek, silicium- en SiC-onderdelen | Hardanodiseren Type III, thermisch gespoten yttriumoxide | Integriteit van de coating bij randen en gaten, deeltjesgedrag, geen blank aluminium blootgesteld aan plasma |
| CVD en ALD | Kamerlichamen, showerhead-blanks, verwarmde pedestal-lichamen, pompringen | 6061-T6, 316L | Hardanodiseren, onbehandeld bewerkt aluminium, elektropolijsten | Gelijkmatigheid van de gaten over de showerhead, vlakheid bij temperatuur, reinheid |
| PVD | Afschermingen, depositie- en afdekringen, kamerlichamen, magneethardware | 316L, titanium, aluminium, koper | Parelstralen of boogspuittextuur voor filmhechting | Oppervlaktetextuur die de gedeponeerde film vasthoudt, geometrie die strippen en hertexturen overleeft |
| Ionenimplantatie | Beamline-hardware, onderdelen van de bronkamer, diafragma’s, bevestigingen | Grafiet, wolfraam, molybdeen, aluminium, RVS | Zoals bewerkt en gereinigd | Materiaalzuiverheid, afschilfering en sputtergedrag, hoogvacuümconstructie |
| CMP | Onderdelen van carrierkoppen, borgringen, slurry-manifolds, platenhardware | PPS, PEEK, 316L, gecoat aluminium | Zoals bewerkt, gepassiveerd | Vlakheid, chemische bestendigheid, geen metaalafgifte in het slurrypad |
| Natte reiniging | Tankonderdelen, manifolds, chuck- en spuitmonddelen | PVDF, PFA, PTFE, polypropyleen | Bewerkt en kunststof gelast | Chemische compatibiliteit, weinig extraheerbare stoffen, lekdichtheid |
| Gasverdeling | Manifoldblokken, surface-mount-substraten, klep- en fittinglichamen | 316L, 316L VIM-VAR | Elektropolijsten en passiveren | Ra bij mediumcontact, helium-lekdichtheid, deeltjes- en vochtgedrag |
| Load lock en transfer | Transferkamerlichamen, slit-valve-onderdelen, deksels, balgflenzen | 6061-T6, 316L | Anodiseren, elektropolijsten | Vlakheid en afwerking van het afdichtvlak, lekdichtheid, stijfheid tijdens het leegpompen |
| EFEM en wafer handling | End effectors, aligneronderdelen, beugels voor load port en robot, frames | 6061-T6, keramiek, PEEK | Hardanodiseren, kleurloos anodiseren | Vlakheid, deeltjesvorming, ESD-gedrag waar gespecificeerd |
| Metrologie en inspectie | Tafels, sensor- en opticabevestigingen, stijve beugels met lage massa | 6061-T6, legeringen met lage uitzetting, keramiek | Anodiseren, zwart anodiseren | Stijfheid, thermische stabiliteit, vlakheid van de montagevlakken |
| Subfab en vacuüm | Voorvacuümadapters, KF-, ISO- en CF-flenzen, pompbeugels | 304L, 316L, aluminium | Passiveren, parelstralen | Lekdichtheid en flensmaten volgens ISO 2861, ISO 1609 of ISO 3669 |
Achtergrond bij de processtappen die deze modules uitvoeren: productie van halfgeleiderchips.
Processzijde of atmosfeerzijde
Dezelfde 6061-plaat kan elk van beide onderdelen worden. Aan welke kant van de wand het belandt, verandert bijna alles na het bewerken.
Proces- en vacuümzijde
- Materiaal en coating gekozen op processchemie
- Afdichtvlakken met vermeldingen voor Ra en richting van de sporen
- Ontluchte bevestigingen en geen ingesloten volumes
- Precisiereiniging, dubbele zak, soms een uitbakcyclus
- Lektest en maatrapport als leveringen
Atmosfeerzijde
- Materiaal gekozen op stijfheid, gewicht en kosten
- Anodiseren Type II, chemisch nikkel of verf komen vaak voor
- Vlakheid en gatpositie bepalen nog steeds de pasvorm
- Ontvetten en in een zak doen volstaat meestal
- Inspectie op de kenmerken die andere onderdelen positioneren
Onderdeelklassen die het lezen waard zijn
Elke gids neemt één familie uit de tabel hierboven en loopt specificaties, kosten en de vragen om te stellen door.
Procesplatform
Lichamen, deksels, showerheads en pedestals.
- Boren van gas-showerheads
- Specificaties van wafer-chucks en pedestals
- PVD- en implantatie-afschermingsonderdelen
Transfer en handling
Load locks, slit valves, robots en EFEM.
- Onderdelen voor load lock en transferkamer
- Onderdelen voor slit valves en schuifkleppen
- EFEM-frames en robotbeugels
Polijsten en natte processen
CMP-carriers, ringen en onderdelen aan de chemische kant.
- CMP-carrierkoppen en ringen
- Onderdelen van PFA, PVDF en PEEK
Plasmablootgesteld
Gecoat aluminium, silicium en SiC.
- Plasmabestendige coatings
- Etch-onderdelen van silicium en SiC
Wat u het bedrijf vertelt over waar het onderdeel heen gaat
Een tekening toont de vorm. Deze zes regels vertellen het bedrijf wat de vorm moet doorstaan, en ze kosten niets om te schrijven.
- Module en kamerzijdeWelke machinemodule, en of het onderdeel het proces, alleen het vacuüm of de atmosfeer ziet. Eén regel in de RFQ verandert welke bedrijven passen.
- ProcesschemieFluor-, chloor- of broomchemie, zuurstofplasma of geen. Het bepaalt de coating en of blank aluminium of nikkel acceptabel is.
- Temperatuur en uitbakkenGebruikstemperatuur en elke uitbakcyclus. Het verschuift de keuze tussen aluminium en RVS en sluit sommige polymeren uit.
- VacuümniveauGrof, hoog of ultrahoog vacuüm. Het bepaalt het lasontwerp, de reiniging en de lektest.
- Nieuwbouw, reserveonderdeel of revisieEen onderdeel dat wordt gestript en opnieuw gecoat heeft er materiaal voor nodig. Een reserveonderdeel naar een oude tekening heeft misschien eerst de actuele revisie nodig.
- Bestaande specificatiesReinigingsprocedure, verpakkingsnorm, lijst met beperkte materialen of kwalificatie-eisen. Stuur ze mee met de tekening, niet na de offerte.
Het RFQ-formulier heeft velden voor materiaal, afwerking, reinheid en leveranciersregio. Al het andere hoort in de beschrijving. Voor het volledige beeld van wat een halfgeleiderbedrijf anders doet, leest u bewerkte onderdelen voor halfgeleiderapparatuur.
Vragen over toepassingen
Welke modules zijn het moeilijkst te sourcen?
Onderdelen die plasmablootgestelde coatings combineren met strakke geometrie, en 316L-onderdelen met gascontact en vermeldingen voor elektropolijsten en lekdichtheid. In beide gevallen is het bewerken de makkelijkste helft. De afwerkingsketen is gespecialiseerd en minder bedrijven beheersen hem van begin tot eind.
Matcht u onderdelen voor oudere machines die alleen als versleten monster bestaan?
Stuur wat u heeft. Een monster zonder tekening is een reverse-engineeringklus, en slechts enkele bedrijven offreren dat. Wij zeggen binnen 24 werkuren of wij het kunnen matchen, en een duidelijk nee is een mogelijk antwoord.
Kan ik onderdelen voor ander vacuümmaterieel sturen, niet alleen voor wafermachines?
Ja, wanneer het onderdeel dezelfde soort specificatie heeft: materiaal in vacuümkwaliteit, een afdichtvlak, een afwerking en een reinheidsvermelding. Onderdelen voor dunnefilmcoating, analytische instrumenten en onderzoeksvacuüm vallen in dezelfde families.
Verandert de module wie mijn tekening ziet?
Nee. Het verandert welke bedrijven passen. Bedrijven zien eerst een voorbeeld zonder naam en zonder bestanden, en uw bestanden gaan alleen naar de bedrijven die wij matchen, maximaal 3.
Noem de module, stuur de tekening
Wij lezen de module, de kamerzijde en de specificatie en bieden de RFQ dan aan maximaal 3 bedrijven aan die al deze klasse onderdelen maken. Eerste reactie binnen 24 werkuren.
- MaterialenKwaliteiten en aanduidingen voor elke module.
- ProcessenDe route van ruw materiaal tot ingepakt onderdeel.
- KostenfactorenWat de prijs bepaalt bij kamer- en handlingonderdelen.