Strona główna / Zastosowania
Obrabiane części wg modułu urządzenia półprzewodnikowego
Moduł mówi warsztatowi, z czym część będzie żyć: plazmą, gazem procesowym, ciepłem, próżnią czy tylko robotem. To decyduje o materiale, wykończeniu i czyszczeniu, zanim zadecyduje o tolerancji.
Moduły, części i to, co decyduje o odbiorze
Typowe kombinacje, czytane jako punkt wyjścia. Specyfikacja producenta urządzenia ma pierwszeństwo przed każdą z nich.
| Moduł | Obrabiane części | Zwykły materiał | Zwykłe wykończenie | Co decyduje o odbiorze |
|---|---|---|---|---|
| Etch | Korpusy komór, wkłady, płyty rozdziału gazu, elementy trzpieni podnoszących i pierścieni | 6061-T6, ceramika, części z krzemu i SiC | Anodowanie twarde Type III, natrysk cieplny itrii | Integralność powłoki na krawędziach i otworach, emisja cząstek, brak gołego aluminium narażonego na plazmę |
| CVD i ALD | Korpusy komór, półfabrykaty showerhead, korpusy podstaw grzewczych, pierścienie pompujące | 6061-T6, 316L | Anodowanie twarde, gołe aluminium po obróbce, polerowanie elektrolityczne | Jednorodność otworów w showerhead, płaskość w temperaturze, czystość |
| PVD | Osłony, pierścienie osadzania i osłonowe, korpusy komór, elementy magnesów | 316L, titanium, aluminium, miedź | Piaskowanie kulkowe lub struktura natryskiwana łukowo dla przyczepności filmu | Struktura powierzchni trzymająca osadzony film, geometria wytrzymująca zdjęcie i ponowne teksturowanie |
| Implantacja jonów | Elementy linii wiązki, części komory źródła, apertury, mocowania | Grafit, wolfram, molibden, aluminium, stal nierdzewna | Po obróbce i oczyszczone | Czystość materiału, łuszczenie i rozpylanie, konstrukcja wysokiej próżni |
| CMP | Części głowic, pierścienie mocujące, bloki zawiesiny, elementy stołu | PPS, PEEK, 316L, aluminium powlekane | Po obróbce, pasywacja | Płaskość, odporność chemiczna, brak metalu uwalnianego do ścieżki zawiesiny |
| Czyszczenie mokre | Części zbiorników, bloki rozdzielcze, części uchwytów i dysz | PVDF, PFA, PTFE, polipropylen | Obrabiane i spawane z tworzywa | Zgodność chemiczna, niska ekstrakcja, szczelność |
| Dostawa gazu | Bloki rozdzielcze, podłoża do montażu powierzchniowego, korpusy zaworów i złączek | 316L, 316L VIM-VAR | Polerowanie elektrolityczne i pasywacja | Ra powierzchni w kontakcie z gazem, szczelność helowa, cząstki i wilgoć |
| Śluza i transfer | Korpusy komór transferowych, części zaworów szczelinowych, pokrywy, kołnierze mieszków | 6061-T6, 316L | Anodowanie, polerowanie elektrolityczne | Płaskość i wykończenie powierzchni uszczelniającej, szczelność, sztywność przy odpompowaniu |
| EFEM i obsługa wafli | Chwytaki, części centrowania, wsporniki load portów i robotów, ramy | 6061-T6, ceramika, PEEK | Anodowanie twarde, anodowanie bezbarwne | Płaskość, emisja cząstek, zachowanie ESD, gdy jest wymagane |
| Metrologia i inspekcja | Stoły, mocowania czujników i optyki, sztywne lekkie wsporniki | 6061-T6, stopy o niskiej rozszerzalności, ceramika | Anodowanie, anodowanie czarne | Sztywność, stabilność termiczna, płaskość powierzchni mocujących |
| Subfab i próżnia | Adaptery linii wstępnej, kołnierze KF, ISO i CF, wsporniki pomp | 304L, 316L, aluminium | Pasywacja, piaskowanie kulkowe | Szczelność i wymiary kołnierzy wg ISO 2861, ISO 1609 lub ISO 3669 |
Tło procesów realizowanych w tych modułach: semiconductor device fabrication.
Strona procesu czy strona atmosfery
Ta sama płyta 6061 może stać się jedną lub drugą częścią. To, po której stronie ściany trafi, zmienia prawie wszystko po obróbce.
Strona procesu i próżni
- Materiał i powłoka dobrane do chemii procesu
- Powierzchnie uszczelniające z wymaganiami Ra i kierunku śladów
- Śruby odpowietrzone i brak uwięzionych objętości
- Czyszczenie precyzyjne, podwójny worek, czasem wygrzewanie
- Test szczelności i raport wymiarowy jako elementy dostawy
Strona atmosfery
- Materiał dobrany do sztywności, masy i kosztu
- Anodowanie Type II, nikiel chemiczny lub farba są częste
- Płaskość i położenie otworów nadal decydują o pasowaniu
- Odtłuszczenie i worek zwykle wystarczą
- Kontrola elementów ustalających inne części
Klasy części warte przeczytania
Każdy poradnik bierze jedną rodzinę z tabeli powyżej i omawia specyfikacje, koszty i pytania do zadania.
Komora procesowa
Korpusy, pokrywy, showerheady i podstawy.
- Wiercenie showerheadów gazowych
- Specyfikacje uchwytów wafli i podstaw
- Części osłon PVD i implantacji
Transfer i obsługa
Śluzy, zawory szczelinowe, roboty i EFEM.
- Części śluz i komór transferowych
- Części zaworów szczelinowych i bramowych
- Ramy EFEM i wsporniki robotów
Polerowanie i procesy mokre
Głowice CMP, pierścienie i części po stronie chemii.
- Głowice i pierścienie CMP
- Części z PFA, PVDF i PEEK
Kontakt z plazmą
Aluminium powlekane, krzem i SiC.
- Powłoki odporne na plazmę
- Części do trawienia z krzemu i SiC
Co powiedzieć warsztatowi o miejscu, w które część trafia
Rysunek pokazuje kształt. Te sześć linijek mówi warsztatowi, co ten kształt musi przetrwać, i nic nie kosztuje napisać.
- Moduł i strona komoryKtóry moduł urządzenia i czy część widzi proces, tylko próżnię czy atmosferę. Jedna linijka w RFQ zmienia, które warsztaty pasują.
- Chemia procesuChemia fluorowa, chlorowa lub bromowa, plazma tlenowa lub żadna. Decyduje o powłoce i o tym, czy gołe aluminium lub nikiel jest dopuszczalny.
- Temperatura i wygrzewanieTemperatura pracy i każdy cykl wygrzewania. Przesuwa wybór między aluminium a stalą nierdzewną i wyklucza niektóre polimery.
- Poziom próżniPróżnia zgrubna, wysoka lub ultrawysoka. Ustala konstrukcję spoin, czyszczenie i test szczelności.
- Nowa konstrukcja, część zamienna lub regeneracjaCzęść, która będzie zdejmowana i powlekana ponownie, wymaga pozostawionego materiału. Część zamienna wg starego rysunku może najpierw potrzebować bieżącej wersji.
- Istniejące specyfikacjeProcedura czyszczenia, norma pakowania, lista materiałów ograniczonych lub wymagania kwalifikacyjne. Należy wysłać je razem z rysunkiem, nie po wycenie.
Formularz RFQ ma pola na materiał, wykończenie, czystość i region dostawcy. Wszystko inne trafia do opisu. Pełny obraz tego, co warsztat półprzewodnikowy robi inaczej, można znaleźć w obrabiane części do urządzeń półprzewodnikowych.
Pytania o zastosowania
Które moduły są najtrudniejsze do zaopatrzenia?
Części łączące powłoki narażone na plazmę z ciasną geometrią oraz części 316L w kontakcie z gazem z polerowaniem elektrolitycznym i wymaganiami szczelności. W obu przypadkach obróbka to łatwiejsza połowa. Łańcuch wykończenia jest wyspecjalizowany i mniej warsztatów kontroluje go od początku do końca.
Czy dopasowujecie części do starszych urządzeń, które istnieją tylko jako zużyta próbka?
Prosimy wysłać to, co jest dostępne. Próbka bez rysunku to zadanie inżynierii odwrotnej i tylko niektóre warsztaty je wyceniają. W ciągu 24 godzin roboczych powiemy, czy możemy dopasować, a zwykła odmowa jest możliwą odpowiedzią.
Czy mogę wysłać części do innego sprzętu próżniowego, nie tylko do urządzeń do wafli?
Tak, gdy część niesie ten sam rodzaj specyfikacji: materiał o jakości próżniowej, powierzchnię uszczelniającą, wykończenie i wymóg czystości. Powlekanie cienkowarstwowe, aparatura analityczna i próżnia badawcza należą do tych samych rodzin.
Czy moduł zmienia, kto widzi mój rysunek?
Nie. Zmienia, które warsztaty pasują. Warsztaty najpierw widzą podgląd bez nazwiska i bez plików, a pliki trafiają tylko do dopasowanych warsztatów, do 3.
Moduł i rysunek
Czytamy moduł, stronę komory i specyfikację, a potem oferujemy RFQ do 3 warsztatów, które już wykonują tę klasę części. Pierwsza odpowiedź w ciągu 24 godzin roboczych.
- MateriałyGatunki i oznaczenia dla każdego modułu.
- ProcesyDroga od materiału do części zapakowanej w worek.
- Czynniki kosztoweCo zmienia cenę części komór i obsługi.