Главная / Применение

Обработанные детали по модулям полупроводникового оборудования

Модуль говорит предприятию, с чем придётся жить детали: плазмой, технологическим газом, нагревом, вакуумом или только роботом. Это определяет материал, финиш и очистку раньше, чем допуск.

Отправить мой RFQ Что сообщить предприятию

Модули, детали и то, что решает приёмку

Типичные сочетания, которые следует читать как отправную точку. Спецификация изготовителя Вашей установки приоритетнее любого из них.

Модуль	Обработанные детали	Обычный материал	Обычный финиш	Что решает приёмку
Etch	Корпуса камер, liners, газораспределительные плиты, детали подъёмных штифтов и колец	6061-T6, керамика, детали из кремния и SiC	Твёрдое анодирование Type III, термическое напыление оксида иттрия	Целостность покрытия на кромках и в отверстиях, поведение частиц, отсутствие оголённого алюминия под плазмой
CVD и ALD	Корпуса камер, заготовки showerhead, корпуса нагреваемых пьедесталов, откачные кольца	6061-T6, 316L	Твёрдое анодирование, обработанный алюминий без покрытия, электрополировка	Равномерность отверстий по showerhead, плоскостность при рабочей температуре, чистота
PVD	Экраны, кольца осаждения и крышки, корпуса камер, детали магнитов	316L, титан, алюминий, медь	Струйная обработка шариками или дуговое напыление для текстуры под адгезию плёнки	Текстура поверхности, удерживающая осаждённую плёнку, геометрия, переживающая снятие плёнки и повторное текстурирование
Ионная имплантация	Оборудование линии пучка, детали камеры источника, апертуры, крепления	Графит, вольфрам, молибден, алюминий, нержавеющая сталь	После обработки и очистки	Чистота материала, отслаивание и поведение при распылении, конструкции высокого вакуума
CMP	Детали головок carrier, удерживающие кольца, манифолды суспензии, детали платена	PPS, PEEK, 316L, алюминий с покрытием	После обработки, пассивация	Плоскостность, химическая стойкость, отсутствие попадания металла в тракт суспензии
Мокрая очистка	Детали ванн, манифолды, детали держателей и форсунок	PVDF, PFA, PTFE, полипропилен	Механообработка и сварка пластика	Химическая совместимость, низкие экстрагируемые вещества, герметичность
Подача газа	Блоки манифолдов, подложки поверхностного монтажа, корпуса клапанов и фитингов	316L, 316L VIM-VAR	Электрополировка и пассивация	Ra на омываемых поверхностях, скорость течи по гелию, поведение частиц и влаги
Шлюзовая камера и транспорт	Корпуса транспортных камер, детали slit valve, крышки, фланцы сильфонов	6061-T6, 316L	Анодирование, электрополировка	Плоскостность и чистота уплотнительной поверхности, скорость течи, жёсткость при откачке
EFEM и транспортировка пластин	End effectors, детали aligner, кронштейны load port и робота, рамы	6061-T6, керамика, PEEK	Твёрдое анодирование, прозрачное анодирование	Плоскостность, образование частиц, поведение по ESD, где оно задано
Метрология и контроль	Столики, крепления датчиков и оптики, жёсткие кронштейны малой массы	6061-T6, сплавы с низким расширением, керамика	Анодирование, чёрное анодирование	Жёсткость, термическая стабильность, плоскостность монтажных поверхностей
Subfab и вакуум	Адаптеры форвакуумной линии, фланцы KF, ISO и CF, кронштейны насосов	304L, 316L, алюминий	Пассивация, струйная обработка шариками	Скорость течи и размеры фланцев по ISO 2861, ISO 1609 или ISO 3669

Справка о технологических шагах, которые выполняют эти модули: производство полупроводниковых приборов.

Технологическая сторона или атмосферная

Из одной и той же плиты 6061 может получиться любая из этих деталей. С какой стороны стенки она окажется, меняет почти всё после механообработки.

Технологическая и вакуумная сторона

Материал и покрытие выбраны под химию процесса
Уплотнительные поверхности с требованиями по Ra и направлению следов
Вентилируемый крепёж и отсутствие замкнутых объёмов
Прецизионная очистка, двойной пакет, иногда прогрев
Испытание на течь и протокол размеров как часть поставки

Атмосферная сторона

Материал выбирают по жёсткости, массе и стоимости
Обычны анодирование Type II, химический никель или краска
Плоскостность и положение отверстий по-прежнему определяют посадку
Обычно достаточно обезжирить и упаковать в пакет
Контроль элементов, которые базируют другие детали

Классы деталей, о которых стоит почитать

Каждое руководство берёт одно семейство из таблицы выше и разбирает спецификации, стоимость и вопросы, которые стоит задать.

Технологическая камера

Корпуса, крышки, showerhead и пьедесталы.

Сверление газовых showerhead
Спецификации держателей пластин и пьедесталов
Детали экранов PVD и имплантации

Транспорт и обращение

Шлюзовые камеры, slit valve, роботы и EFEM.

Полировка и мокрые процессы

Carriers CMP, кольца и детали химической стороны.

Головки carrier и кольца CMP
Детали из PFA, PVDF и PEEK

Обращённые к плазме

Алюминий с покрытием, кремний и SiC.

Стойкие к плазме покрытия
Детали etch из кремния и SiC

Что сообщить предприятию о том, куда пойдёт деталь

Чертёж показывает форму. Эти шесть строк говорят предприятию, что форма должна выдержать, и писать их ничего не стоит.

Модуль и сторона камерыКакой модуль установки и видит ли деталь процесс, только вакуум или атмосферу. Одна строка в RFQ меняет круг подходящих предприятий.
Химия процессаХимия фтора, хлора или брома, кислородная плазма или ничего из этого. Она определяет покрытие и допустимость оголённого алюминия или никеля.
Температура и прогревРабочая температура и любой цикл прогрева. Это смещает выбор между алюминием и нержавеющей сталью и исключает некоторые полимеры.
Уровень вакуумаНизкий, высокий или сверхвысокий вакуум. Он задаёт конструкцию швов, очистку и испытание на течь.
Новая деталь, запасная или восстановлениеДеталь, с которой будут снимать и вновь наносить покрытие, требует оставленного припуска. Запасная деталь по старому чертежу может сначала потребовать актуальной ревизии.
Действующие спецификацииПроцедура очистки, стандарт упаковки, список ограниченных материалов или требования аттестации. Присылайте их вместе с чертежом, а не после расчёта.

В форме RFQ есть поля для материала, чистоты поверхности, чистоты и региона поставщика. Всё остальное идёт в описание. Полную картину того, что делает по-другому предприятие, работающее с полупроводниками, читайте в статье обработанные детали для полупроводникового оборудования.

Вопросы о применении

Какие модули сложнее всего закупать?

Детали, сочетающие покрытия, обращённые к плазме, с жёсткой геометрией, и детали из 316L, омываемые газом, с требованиями по электрополировке и скорости течи. В обоих случаях обработка это более лёгкая половина. Цепочка финишной обработки специализирована, и лишь немногие предприятия управляют ею от начала до конца.

Подбираете ли Вы детали для старых установок, которые существуют только как изношенный образец?

Присылайте то, что есть. Образец без чертежа это работа по реверс-инжинирингу, и расчёт делают не все предприятия. Мы сообщим в течение 24 рабочих часов, можем ли подобрать исполнителя, и возможный ответ это прямое нет.

Можно ли присылать детали для другого вакуумного оборудования, а не только для установок обработки пластин?

Да, если деталь несёт такую же спецификацию: материал вакуумного класса, уплотнительная поверхность, чистота поверхности и требование по чистоте. Детали для нанесения тонких плёнок, аналитических приборов и исследовательского вакуума относятся к тем же семействам.

Меняет ли модуль то, кто видит мой чертёж?

Нет. Он меняет то, какие предприятия подходят. Сначала предприятия видят превью без имени и файлов, а Ваши файлы получают только подобранные нами предприятия, не более 3.

Назовите модуль, отправьте чертёж

Мы прочтём модуль, сторону камеры и спецификацию, затем предложим RFQ не более чем 3 предприятиям, уже делающим такой класс деталей. Первый ответ в течение 24 рабочих часов.

Отправить мой RFQ

МатериалыМарки и обозначения для каждого модуля.
ПроцессыПуть от заготовки до упакованной детали.
Факторы стоимостиЧто двигает цену на детали камер и транспортировки.