跳到正文
SemiCNC

半导体设备零件CNC加工

请发送图纸和真正关键的规格。我们把它转给最多 3 家已在加工这类零件的工厂,24个工作小时内回复您。

压力零件类别10-9 TorrUHV部件可烘烤的腔体,电解抛光316L,所有焊缝全熔透10-6 Torr工艺腔体盖板、内衬、喷淋头毛坯、基座本体、密封面10-3 Torr加载锁与传送狭缝阀本体、末端执行器、传送臂、波纹管法兰ATM框架、EFEM与治具没有真空规格,但平面度和平行度仍决定能否装配
零件承受的压力,先于公差决定材料、表面处理和包装。
采购方免费为匹配到的询价付费的是工厂,您无需付费。
最多 3 家工厂一份询价只给几家候选,不是拍卖。
可签NDA签署之前,文件由我们保管。
24个工作小时即使答复是做不了,也会首次回复。

采购方为什么在这里询价半导体零件加工

关键在于匹配:从第一份报价起,就对接适合您零件的加工厂。

  1. 按专长匹配

    您的询价会发给最多 3 家已在加工这类零件的加工厂,按零件类别、材料和真空规格挑选。不是普通的名录。

  2. 专业的供应商

    网络中的加工厂按图纸报价,沟通清楚,并在生产过程中向您更新进度。

  3. 直接与加工厂合作

    报价、条款和交货由您与加工厂直接商定。采购方免费。

我们转介的零件

一个细分领域,四类零件。如果您的零件不在这个清单里,请在询价中说明,我们会直接告诉您能否匹配。

腔体与盖板零件

大型铝和不锈钢本体,平面度、密封面和内表面质量决定腔体能否保压。

  • 腔体本体与盖板
  • 内衬与防护罩
  • 喷淋头毛坯
  • 基座与加热器本体

晶圆传送

薄而轻的零件,平面度、平衡和颗粒表现比单纯的公差更重要。

  • 末端执行器与叶片
  • 传送臂与连杆
  • 晶圆吸盘与环
  • 对准器与顶针零件

气体输送与真空

接触介质的小型零件,内表面质量、清洁度和泄漏完整性就是全部工作。

  • 集成块
  • CF与KF法兰本体
  • 馈通与转接件本体
  • 阀门与管接头本体

框架、治具与测试夹具

没有真空规格的结构件和工装,平面度、平行度和重复性决定价格。

  • 设备框架与焊接结构件
  • EFEM与装载口支架
  • 测试与老化夹具
  • 装配与搬运治具

您的零件需要半导体专业加工厂吗

勾选适用的项目。不会向任何地方发送数据,结果显示在下方。

请勾选适用的项目

这些要求大多会让每一件都增加成本,所以报价的工厂应当已经习惯它们。

真空级加工是另一回事

一家工厂可以守住您的公差,却依然交出晶圆厂不接收的零件。差距很少出在切削上。

通用精密加工

  • 按牌号采购原材料
  • 去毛刺、清洗、包裹
  • 表面处理按图纸注释分别报价
  • 检验报告按需提供
  • 常规包装装箱

真空级

  • 材质证明书和炉批号随零件保存
  • 洁净的操作区,无硅酮,受控的介质
  • 针对指定涂层的合格表面处理产线
  • 尺寸检验报告作为交付物,而不是人情
  • 精密清洗、双层包装、标签贴在袋子外面
主轴铣削一个圆形铝零件,这是半导体腔体零件常见的第一道工序

请问工厂右侧这五点里,哪些是自己做的,哪些是外购的。这个答案比设备清单更能说明问题。

材料与典型范围

关键在于「典型」二字。这是工厂通常的作业范围,不是对您零件的承诺。

材料典型公差典型Ra常用表面处理用途
Aluminum 6061-T6±0.01至±0.025 mm0.4至0.8 umType III硬质阳极氧化、Type II阳极氧化、喷珠腔体本体、盖板、支架、大多数结构件
Aluminum 5052 / 5083±0.025 mm0.8至1.6 um阳极氧化、喷珠钣金与焊接件、罩盖、风道
Stainless 316L±0.01至±0.025 mm0.2至0.4 um电解抛光、钝化接触气体的流道、法兰、UHV部件
Stainless 304L±0.025 mm0.4至0.8 um钝化、喷珠框架、不接触气体的真空结构
Titanium Gr 2 / Gr 5±0.01至±0.025 mm0.4至0.8 um阳极氧化、钝化腐蚀性工艺区、轻量结构件
PEEK±0.05 mm0.8至1.6 um加工态、精密清洗绝缘件、晶圆接触件、需要低放气的场合
Vespel SP-1±0.05 mm0.8至1.6 um加工态高温绝缘件、耐磨件
Alumina 99.5烧成态±0.05 mm按规格研磨研磨、磨削绝缘件和晶圆接触件,通常由陶瓷专业厂完成

公差和Ra适用于需要它们的特征,而不是整个零件。在标题栏里只写一个数值,是得到一个没人想要的价格的最快途径。带UNS、EN和JIS牌号的材料见材料页面。

表面处理与清洁度

这些步骤发生在最后一刀之后,承担了大部分交期风险。

  • Type III硬质阳极氧化用于等离子体接触面和耐磨面的厚而硬的氧化铝层。它会使零件尺寸变大,所以图纸必须写明公差是涂层前还是涂层后。
  • Type II硫酸阳极氧化更薄也更便宜。用于需要耐腐蚀但不需要耐等离子体的表面。
  • 电解抛光去除不锈钢上被涂抹的加工层,降低内表面Ra。接触气体的流道零件和UHV部件的标准工艺。
  • 钝化用化学方法去除不锈钢表面的游离铁。便宜、快速,常与电解抛光一起指定。
  • 喷珠均匀的哑光表面,使涂层附着牢固并遮盖刀痕。喷珠介质本身也会成为清洁度问题。
  • 精密清洗与双层包装超声波清洗或去离子水冲洗,干燥后在洁净区一层袋套一层袋地包装。便宜的报价与可用的零件就在这里分道扬镳。

从原材料到包装好的零件的完整路径,按步骤见加工工艺。

询价来自的工艺领域

零件类别比它最终装进的设备更重要,但设备能让工厂知道该预期什么。

沉积

CVD、PVD和ALD。腔体本体、内衬、喷淋头毛坯、加热器零件。

刻蚀

带硬质阳极氧化或喷涂涂层的等离子体接触铝件,以及与石英、陶瓷相邻的部件。

CMP

载具、保持环部件、接触浆料的集成块和接头。

离子注入

束线部件、与石墨相邻的安装座、高真空结构。

量测与检测

平台、光学与传感器安装座、刚性好质量轻的支架。

EFEM与晶圆传送

末端执行器、臂、装载口与对准器零件、框架。

测试与老化

换型套件、插座周边部件、热板、夹具。

装配与封装

键合与搬运治具、载具、托盘、工装板。

各模块常用的材料、表面处理和验收要点见应用。

流程

三步,第三步我们不参与。

  1. 您发送图纸

    模型、图纸、数量、表面与清洁度要求,以及您希望的供应商地区。如需NDA,请先签署。

  2. 我们筛选并匹配

    我们确认询价信息完整,然后提供给设备、材料和表面处理链条与零件相符的最多 3 家工厂。工厂看到的只是不含名称、不含文件的预览。

  3. 工厂直接向您报价

    您比较报价,自己提问,并向选定的工厂下单。对这笔订单,我们不收取佣金。

什么决定价格

在收紧图纸上的某个数值之前,值得先读一读。

  • 材料与证明等级带材质证明书的6061板和带炉批号可追溯的316L棒料,是两种不同的采购。限制材料清单还会缩小能够采购原材料的工厂范围。
  • 公差与几何形状大面积平面密封面、深腔和薄壁会增加装夹和去应力循环。比功能所需公差再紧一级,就要为每一件付费。
  • 表面粗糙度Ra 0.8 um靠刀具直接加工即可达到。Ra 0.4 um及更好需要精加工走刀、更慢的进给和检验,并且只适用于图纸上指定的位置。
  • 表面处理链条阳极氧化、电解抛光和钝化都是外协工序。每增加一道,就多几天、一段运输,以及遮蔽出错时返工的风险。
  • 清洁度与包装精密清洗、洁净室装袋和氮气吹扫是单独的费用项,不是人情。请写在图纸上,否则就会按更便宜的方法处理。
  • 数量与返单编程和夹具只付一次。1至5件时它们占价格的大头,说明会有返单,通常连首单价格也会降低。

快速发送询价

四个字段加一个文件。如果您想填写包含材料、公差、表面处理和地区的完整表单,请使用完整询价页面。

更喜欢邮件?请写信到 并附上图纸。

STEP、IGES、PDF、DWG、DXF或zip。如果无法在此上传,请把文件发到 ,并注明零件名称。
首次回复24个工作小时内。

已经在加工这类零件?

我们把每份经过筛选的询价作为线索,出售给适合该零件的加工厂。您购买线索,直接向采购方报价,并保留整笔订单。对您赢得的订单,我们不收取佣金。

登记不收费,也不要求您必须购买任何东西。

  • 先看预览零件类别、材料、外形尺寸、数量、公差、地区和交期。没有采购方名称,没有文件。
  • 候选名单,不是拍卖同一份询价最多只给 3 家工厂。
  • 直接的业务关系您向采购方报价、开票,客户由您保留。

向加工这些零件的工厂供货?

真空级材料、刀具与夹持、表面处理与涂层、精密清洗与洁净室包装、计量以及泄漏或放气测试。告诉我们您卖什么,我们会把您介绍给需要的工厂。

介绍是免费的。没有人需要付费才能在指南中被提到。

  • 是介绍,不是名单我们不出售联系人名单。一次只介绍一家供应商和一家工厂,而且要工厂同意。
  • 合适才会提到供应商只在支撑某个技术论点时才会出现在指南中,绝不是付费位置。

采购方常问的问题

你们自己加工零件吗?

不。我们是匹配服务,不是加工厂。我们没有机床,也不对零件报价。回复您的工厂拥有机床,您向它们下单。

对采购方免费吗?

是。发送询价和接收报价不会向您收费。加工厂为匹配到的询价向我们付费。价格、交期和条款由您与工厂商定。

谁能看到我的图纸?

工厂最先看到的是预览,包含零件类别、材料、外形尺寸、数量、公差和交期。预览不含姓名、公司和文件。您的联系方式和文件只会发给我们匹配的工厂,最多 3 家。如果您要求NDA,签署之前文件由我们保管。

你们如何决定哪些工厂收到我的询价?

两道筛选。第一是零件类别和图纸上的规格,所以从未在密封面上做到Ra 0.4 um的工厂不会看到密封件。第二是您在表单中选择的供应商地区。

你们能处理已有认证或晶圆厂规范的零件吗?

请把规范连同图纸一起发来。如果零件与某项认证、指定的清洗流程或晶圆厂专用的包装标准相关,请在说明中写明。达不到的工厂最好不要报价。

我应该发哪些文件?

STEP或IGES模型,加上带公差、表面处理标注、材料与状态、以及清洁度或包装注释的PDF图纸。DWG和DXF也可以。只有模型没有图纸,通常换来的是问题而不是价格。