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SemiCNC

반도체 장비 부품 CNC 가공

도면과 실제로 중요한 사양을 보내 주십시오. 이 부품군을 이미 가공하고 있는 최대 3개 가공업체에 전달하며, 24 영업시간 이내에 회신드립니다.

압력부품군10-9 TorrUHV 부품베이크 가능한 챔버, 전해연마 316L, 모든 용접은 완전 용입10-6 Torr공정 챔버리드, 라이너, 샤워헤드 블랭크, 페데스탈 본체, 실링면10-3 Torr로드락 및 이송슬릿 밸브 본체, 엔드 이펙터, 이송 암, 벨로우즈 플랜지ATM프레임, EFEM, 지그진공 사양은 없지만 평탄도와 평행도가 조립을 좌우합니다
부품이 받는 압력은 공차보다 먼저 재질, 표면 마감, 포장을 결정합니다.
구매자 무료매칭된 요청에 대해 가공업체가 비용을 부담하며, 구매자는 무료입니다.
최대 3개 업체견적 요청 한 건을 경쟁 입찰이 아니라 소수의 후보에게만 전달합니다.
요청 시 NDA서명 전까지 파일은 저희가 보관합니다.
24 영업시간답이 어렵다는 내용이어도 첫 회신을 드립니다.

구매자가 이곳에 반도체 부품 가공을 의뢰하는 이유

핵심은 매칭입니다. 첫 견적부터 부품에 맞는 가공업체와 연결됩니다.

  1. 전문성 기반 매칭

    RFQ는 이 부품군을 이미 가공하고 있는 최대 3곳의 가공업체로 전달되며, 부품군, 재질, 진공 사양에 따라 선정됩니다. 일반 디렉터리가 아닙니다.

  2. 전문적인 공급업체

    네트워크의 가공업체는 도면대로 견적을 내고, 명확하게 소통하며, 제작 중에도 진행 상황을 알려드립니다.

  3. 가공업체와 직접 거래

    견적, 조건, 납품은 가공업체와 직접 합의합니다. 구매자는 무료입니다.

취급하는 부품

한 분야, 네 가지 부품군입니다. 이 목록에 없는 부품이라면 견적 요청에 그렇게 적어 주십시오. 매칭할 수 있는지 솔직하게 알려 드립니다.

챔버 및 리드 부품

평탄도, 실링면, 내부 표면 마감이 챔버의 기밀을 좌우하는 대형 알루미늄 및 스테인리스 본체입니다.

  • 챔버 본체와 리드
  • 라이너와 실드
  • 샤워헤드 블랭크
  • 페데스탈 및 히터 본체

웨이퍼 핸들링

얇고 가벼우며, 공차 자체보다 평탄도, 밸런스, 파티클 거동이 더 중요한 부품입니다.

  • 엔드 이펙터와 블레이드
  • 이송 암과 링크
  • 웨이퍼 척과 링
  • 얼라이너 및 리프트 핀 부품

가스 공급 및 진공

내부 표면 마감, 청결도, 누설 건전성이 작업의 전부인 소형 접가스 부품입니다.

  • 매니폴드 블록
  • CF 및 KF 플랜지 본체
  • 피드스루 및 어댑터 본체
  • 밸브 및 피팅 본체

프레임, 지그, 시험용 고정구

진공 사양이 없는 구조물 및 공구류로, 평탄도, 평행도, 반복성이 가격을 정합니다.

  • 장비 프레임과 용접 구조물
  • EFEM 및 로드 포트 브래킷
  • 시험 및 번인 고정구
  • 조립 및 핸들링 지그

내 부품에 반도체 전문 가공업체가 필요한가요

해당하는 항목을 선택해 주십시오. 어디에도 전송되지 않으며 결과는 아래에 표시됩니다.

해당하는 항목을 선택해 주십시오

이 규정 대부분은 제품 한 개마다 비용이 듭니다. 견적을 내는 업체는 이미 이런 요구에 익숙해야 합니다.

진공 등급 가공은 다른 일입니다

업체가 공차를 지킬 수 있어도 팹이 받아 주지 않는 부품을 보낼 수 있습니다. 차이는 거의 절삭에서 생기지 않습니다.

일반 정밀 가공

  • 등급에 맞춰 소재 구매
  • 버 제거, 세척, 포장
  • 표면 마감은 도면 주석별로 견적
  • 검사 성적서는 요청 시 제공
  • 통상적인 포장으로 출하

진공 등급

  • 밀 시트와 히트 로트를 부품과 함께 보관
  • 청정 작업 구역, 실리콘 불사용, 관리되는 가공 매체
  • 지정된 코팅에 대해 인증된 표면 처리 라인
  • 치수 검사 성적서는 호의가 아니라 납품물로 제출
  • 정밀 세정, 이중 포장, 백 바깥쪽에 라벨 부착
스핀들로 둥근 알루미늄 부품을 밀링하는 모습. 반도체 챔버 부품에서 통상 첫 번째 공정입니다

오른쪽의 다섯 가지 중 어떤 것을 자체 수행하고 어떤 것을 외주로 사는지 업체에 물어보십시오. 그 답이 설비 목록보다 더 많은 것을 알려 줍니다.

재료와 일반적인 범위

중요한 말은 「일반적」입니다. 업체가 통상 다루는 범위이며, 귀사 부품에 대한 보증이 아닙니다.

재료일반 공차일반 Ra주요 마감주 용도
Aluminum 6061-T6±0.01 ~ ±0.025 mm0.4 ~ 0.8 umType III 경질 아노다이즈, Type II 아노다이즈, 비드 블라스트챔버 본체, 리드, 브래킷, 대부분의 구조 부품
Aluminum 5052 / 5083±0.025 mm0.8 ~ 1.6 um아노다이즈, 비드 블라스트판금 및 용접 구조물, 커버, 덕트
Stainless 316L±0.01 ~ ±0.025 mm0.2 ~ 0.4 um전해연마, 부동태화접가스 유로, 플랜지, UHV 부품
Stainless 304L±0.025 mm0.4 ~ 0.8 um부동태화, 비드 블라스트프레임, 접가스하지 않는 진공 구조부
Titanium Gr 2 / Gr 5±0.01 ~ ±0.025 mm0.4 ~ 0.8 um아노다이즈, 부동태화부식성 공정 영역, 경량 구조 부품
PEEK±0.05 mm0.8 ~ 1.6 um가공 상태 그대로, 정밀 세정절연체, 웨이퍼 접촉 부품, 저 아웃가싱이 필요한 용도
Vespel SP-1±0.05 mm0.8 ~ 1.6 um가공 상태 그대로고온 절연체, 마모 부품
Alumina 99.5소결 상태 ±0.05 mm사양에 맞춰 연삭래핑, 연삭절연체 및 웨이퍼 접촉 부품, 통상 세라믹 전문 업체

공차와 Ra는 그것이 필요한 형상에 적용하는 것이며 부품 전체에 적용하는 것이 아닙니다. 표제란에 숫자 하나만 쓰는 것은 아무도 원하지 않던 가격으로 가는 가장 빠른 길입니다. UNS, EN, JIS 규격명이 붙은 재질은 재료 페이지에 있습니다.

표면 처리와 청결도

이 단계들은 마지막 절삭 이후에 이루어지며 일정 위험의 대부분을 차지합니다.

  • Type III 경질 아노다이즈플라즈마 접촉면과 마모면을 위한 두껍고 단단한 산화알루미늄 피막입니다. 부품 치수가 커지므로, 공차가 코팅 전인지 후인지를 도면에 적어야 합니다.
  • Type II 황산 아노다이즈더 얇고 저렴합니다. 내식성은 필요하지만 내플라즈마성은 필요 없는 면에 씁니다.
  • 전해연마스테인리스 가공 시 생긴 변질층을 제거하고 내부 Ra를 낮춥니다. 접가스 유로 부품과 UHV 부품에서는 표준입니다.
  • 부동태화스테인리스 표면의 유리 철분을 화학적으로 제거합니다. 저렴하고 빠르며 전해연마와 함께 지정되는 경우가 많습니다.
  • 비드 블라스트코팅이 잘 붙고 공구 자국이 가려지는 균일한 무광 표면입니다. 비드 매체 자체도 청결도 문제가 됩니다.
  • 정밀 세정과 이중 포장초음파 세척 또는 DI수 린스, 건조 후 청정 구역에서 백 안에 백을 넣어 포장합니다. 싼 견적과 쓸 수 있는 부품이 갈리는 지점이 바로 여기입니다.

소재에서 포장된 부품까지의 전체 경로는 가공 공정에서 단계별로 설명합니다.

견적 요청이 들어오는 공정 영역

부품이 최종적으로 들어가는 장비보다 부품군이 더 중요하지만, 장비를 알면 업체가 무엇을 예상해야 하는지 알 수 있습니다.

증착

CVD, PVD, ALD. 챔버 본체, 라이너, 샤워헤드 블랭크, 히터 부품.

식각

경질 아노다이즈 또는 용사 코팅을 한 플라즈마 접촉 알루미늄 부품과, 석영 및 세라믹에 인접한 부품.

CMP

캐리어, 리테이닝 부품, 슬러리가 닿는 매니폴드와 피팅.

이온 주입

빔라인 부품, 흑연에 인접한 마운트, 고진공 구조부.

계측 및 검사

스테이지, 광학 및 센서 마운트, 강성이 높고 질량이 작은 브래킷.

EFEM 및 웨이퍼 핸들링

엔드 이펙터, 암, 로드 포트 및 얼라이너 부품, 프레임.

시험 및 번인

체인지 키트, 소켓 주변 부품, 서멀 플레이트, 고정구.

조립 및 패키징

본딩 및 핸들링 지그, 캐리어, 트레이, 툴링 플레이트.

모듈별 통상 재료, 마감, 합격 판단 기준은 적용 분야에 있습니다.

진행 방식

세 단계이며, 세 번째 단계에는 저희가 관여하지 않습니다.

  1. 도면을 보내십시오

    모델, 도면, 수량, 표면 마감 및 청결도 지정, 원하는 공급 지역을 보내 주십시오. 필요하시면 먼저 NDA를 체결합니다.

  2. 검토 후 매칭합니다

    견적 요청이 충분히 갖춰졌는지 확인하고, 설비, 재료, 표면 처리 체계가 부품에 맞는 최대 3개 업체에 제안합니다. 업체에는 이름도 파일도 없는 미리보기만 보입니다.

  3. 업체가 직접 견적을 냅니다

    견적을 비교하고 직접 질문하며 선택한 업체에 발주하십니다. 그 주문에 대해 저희는 수수료를 받지 않습니다.

가격을 좌우하는 요인

도면의 숫자를 더 엄격하게 하기 전에 읽어 볼 만한 내용입니다.

  • 재료와 인증서 수준밀 시트가 있는 6061 플레이트와 히트 로트 추적성이 있는 316L 바는 서로 다른 구매품입니다. 사용 제한 재료 목록이 있으면 소재를 살 수 있는 업체 자체가 좁아집니다.
  • 공차와 형상크고 평평한 실링면, 깊은 포켓, 얇은 벽은 고정과 응력 제거 사이클을 늘립니다. 기능에 필요한 것보다 한 단계 엄격한 공차는 매 제품마다 비용을 치르게 합니다.
  • 표면 거칠기Ra 0.8 um는 절삭 공구만으로 나옵니다. Ra 0.4 um 이하는 마무리 패스, 느린 이송, 검사가 필요하며 도면이 지정한 곳에만 적용됩니다.
  • 표면 처리 체인아노다이즈, 전해연마, 부동태화는 외부 공정입니다. 하나가 추가될 때마다 며칠의 일정, 운송 구간, 마스킹이 잘못될 경우의 재작업 위험이 더해집니다.
  • 청결도와 포장정밀 세정, 클린룸 백 포장, 질소 퍼지는 호의가 아니라 별도 항목입니다. 도면에 요청하지 않으면 더 저렴한 방법이 적용된다고 보셔야 합니다.
  • 수량과 반복프로그래밍과 고정구 비용은 한 번만 듭니다. 1~5개에서는 이것이 가격의 대부분이며, 반복 물량이 예상된다고 알려 주면 첫 주문 가격도 내려가는 경우가 많습니다.

간단 견적 요청 보내기

입력란 네 개와 파일 하나입니다. 재료, 공차, 마감, 지역까지 입력하는 전체 양식은 전체 RFQ 페이지를 이용하십시오.

이메일을 선호하십니까? 로 도면을 첨부해 보내 주십시오.

STEP, IGES, PDF, DWG, DXF 또는 zip. 여기서 업로드할 수 없으면 로 파일을 보내고 부품 이름을 알려 주십시오.
첫 회신은 24 영업시간 이내에 드립니다.

이 부품을 이미 가공하고 계십니까

검토를 마친 견적 요청을 부품에 맞는 가공업체에 리드로 판매합니다. 리드를 구매해 구매자에게 직접 견적을 내고, 수주한 주문 전체를 가져가십니다. 수주 건에 대한 수수료는 받지 않습니다.

등록은 무료이며 리드 구매 의무도 없습니다.

  • 먼저 미리보기를 확인부품군, 재료, 외형 치수, 수량, 공차, 지역, 납기를 볼 수 있습니다. 구매자 이름과 파일은 없습니다.
  • 경쟁 입찰이 아닌 소수 후보같은 견적 요청을 받는 업체는 최대 3개입니다.
  • 직접적인 거래 관계견적, 청구, 고객 관리 모두 귀사가 합니다.

이런 부품을 가공하는 업체에 공급하십니까

진공 등급 소재, 절삭 공구와 워크홀딩, 표면 처리와 코팅, 정밀 세정과 클린룸 포장, 계측 및 누설 또는 아웃가싱 시험 등입니다. 공급 품목을 알려 주시면 필요로 하는 업체를 소개해 드립니다.

소개는 무료입니다. 가이드에 이름이 오르기 위해 비용을 내는 일은 없습니다.

  • 목록이 아닌 소개연락처 목록은 판매하지 않습니다. 가공업체가 동의한 경우에만 공급업체 하나와 가공업체 하나를 연결합니다.
  • 내용에 맞을 때만 언급공급업체는 기술적 설명을 뒷받침할 때만 가이드에 나오며, 유료 게재는 없습니다.

구매자가 자주 묻는 질문

부품을 직접 가공하십니까

아니요. 저희는 가공업체가 아니라 매칭 서비스입니다. 기계를 보유하지 않으며 부품 견적도 내지 않습니다. 회신하는 업체가 기계를 운영하며, 발주는 그 업체와 직접 하십니다.

구매자는 무료입니까

예. 견적 요청을 보내고 견적을 받는 데는 비용이 들지 않습니다. 매칭된 요청에 대해 가공업체가 저희에게 비용을 냅니다. 가격, 납기, 조건은 귀사와 업체가 정합니다.

제 도면은 누가 보나요

업체가 처음 보는 것은 부품군, 재료, 외형 치수, 수량, 공차, 납기가 담긴 미리보기입니다. 미리보기에는 이름도 회사도 파일도 없습니다. 연락처와 파일은 저희가 매칭한 최대 3개 업체에만 전달됩니다. NDA를 요청하시면 서명 전까지 파일은 저희가 보관합니다.

어떤 업체에 제 견적 요청을 보낼지 어떻게 정하나요

두 가지 기준입니다. 첫째는 부품군과 도면의 사양으로, 실링면에서 Ra 0.4 um를 맞춰 본 적이 없는 업체에는 실링 부품을 보여 주지 않습니다. 둘째는 양식에서 선택하시는 공급 지역입니다.

기존 인증이나 팹 사양이 걸린 부품도 다룰 수 있나요

도면과 함께 사양을 보내 주십시오. 부품이 인증, 지정된 세정 절차, 팹 고유의 포장 기준과 연결되어 있다면 설명란에 적어 주십시오. 이를 충족하지 못하는 업체는 견적을 내지 않는 편이 낫습니다.

어떤 파일을 보내야 하나요

STEP 또는 IGES 모델과, 공차, 표면 마감 지정, 재료와 열처리 상태, 청결도 및 포장 주석이 있는 PDF 도면입니다. DWG와 DXF도 가능합니다. 도면 없이 모델만 보내면 보통 가격이 아니라 질문이 돌아옵니다.