금속 등급과 규격명
상당 재질은 비슷하지만 같지는 않습니다. 화학 성분 한계는 규격 간에 조금씩 다르므로, 기준으로 삼는 규격을 지정하고 업체가 그에 맞춰 구매하게 하십시오.
| 재료 | UNS | EN | JIS | 통상 형태와 열처리 상태 | 주 용도 |
|---|---|---|---|---|---|
| Aluminum 6061 | A96061 | EN AW-6061 | A6061 | T6 또는 T651 플레이트 및 바 | 챔버 본체, 리드, 브래킷, 대부분의 구조 부품 |
| Aluminum 5083 | A95083 | EN AW-5083 | A5083 | O, H111 또는 H321 플레이트 | 대형 챔버 본체, 용접한 진공 구조물 |
| Aluminum 5052 | A95052 | EN AW-5052 | A5052 | H32 시트 및 플레이트 | 커버, 덕트, 판금 하우징 |
| Stainless 304L | S30403 | 1.4307 | SUS304L | 소둔 바 및 플레이트 | 프레임, 포어라인 부품, 접가스하지 않는 진공 구조부 |
| Stainless 316L | S31603 | 1.4404 | SUS316L | 소둔 바, 플레이트, 튜브 | 접가스 부품, 플랜지, UHV 부품 |
| Stainless 316LN | S31653 | 1.4429 | SUS316LN | 소둔, 재용해재가 많음 | CF 플랜지와 베이크 가능한 UHV 부품 |
| Titanium Grade 2 | R50400 | 3.7035 | 2종 | 소둔 바 및 플레이트 | 부식성 공정 영역, PVD 부품 |
| Titanium Grade 5 | R56400 | 3.7165 | TAP6400 | 소둔 바 및 플레이트 | 가볍고 강성이 높은 부품, 웨이퍼 핸들링 암 |
| Molybdenum | R03600 | n/a | n/a | 응력 제거한 로드 및 플레이트 | 열 차폐, 핫존 및 이온 주입 부품 |
| OFE copper | C10100 | CW009A | C1011 | 소둔 또는 반경질 | CF 가스켓, 냉각 블록, RF 부품 |
도면에 적어 둘 만한 플레이트 및 바 규격: 알루미늄은 ASTM B209와 B221, 스테인리스는 ASTM A240과 A276, 티타늄은 ASTM B265와 B348, 무산소동은 ASTM F68입니다.
알루미늄인가 스테인리스인가
챔버 부품 대부분은 둘 중 하나입니다. 선택은 강도보다 온도, 공정 화학, 부품을 접합하는 방식에 따라 결정됩니다.
Aluminum 6061과 5083
- 가볍고, 가공이 빠르며, 부품당 저렴함
- 열전도가 좋아 냉각되는 리드와 플레이트에 적합
- 플라즈마 접촉면에 Type III 경질 아노다이즈 가능
- 베이크 온도가 스테인리스보다 낮음
- 실링면에 흠집이 나기 쉬워 취급과 포장이 중요
Stainless 304L과 316L
- UHV 작업을 위해 더 높은 온도까지 베이크 가능
- 기밀 이음부로 용접되며 CF 부품의 표준
- 접가스 순도를 위해 전해연마 가능
- 더 무겁고 가공이 느리며 가공 경화됨
- 저탄소 L 등급은 용접부의 예민화를 억제
알루미늄 내 플레이트 선택: 챔버용 6061, 5083, 주조 툴링 플레이트. 스테인리스의 순도 등급: UHP 가스 라인용 316L VIM-VAR.
진공 부품에서 배제할 것
치수 검사는 통과하지만 배기나 베이크에서 실패하는 재료와 습관입니다.
- 아연과 카드뮴둘 다 증기압이 높아 베이크하면 챔버를 오염시킵니다. 따라서 황동, 7075 및 아연이 든 다른 합금, 진공 내부의 카드뮴 도금 체결 부품은 배제됩니다.
- 쾌삭 등급303, 12L14, 2011이 잘 깎이는 것은 황과 납 덕분입니다. 이들은 아웃가싱을 하고 용접 품질을 해치며 연마한 면에 개재물로 나타납니다. 303이 아니라 304L 또는 316L을 지정하십시오.
- 다공성 주조재주조 기공은 가스와 세정액을 가두었다가 진공에서 둘 다 방출합니다. 주물이 해당 용도로 검증되지 않았다면, 진공에 노출되는 모든 것에는 단조재 플레이트나 바를 쓰십시오.
- 실리콘과 출처 불명 윤활제실리콘은 이동하고 제거하기 어렵습니다. 어떤 절삭유와 윤활제가 부품에 닿는지 업체에 묻고, 실리콘을 금지하면 도면에 적으십시오.
- 벤트 없는 막힌 공간재료는 아니지만 재료처럼 작용합니다. 나사 뒤나 막힌 구멍에 갇힌 가스는 천천히 새어 나와 배기 불량으로 나타납니다.
저압에서 왜 중요한지는 아웃가싱을 참고하십시오.
폴리머와 세라믹
온도는 재료 제조사가 제시하는 통상의 연속 사용 한계이며 진공 베이크 한계가 아닙니다. 충전재, 안료, 등급에 따라 한계와 아웃가싱이 모두 달라집니다.
| 재료 | 통상 형태 | 통상 사용 한계 | 주 용도 |
|---|---|---|---|
| PEEK, 무충전 | 압출 로드 및 플레이트 | 연속 약 250 °C | 절연체, 웨이퍼 접촉 부품, CMP 링 |
| 폴리이미드(Vespel SP-1 유형) | 직접 성형품 | 연속 약 290 °C | 고온 절연체, 마모 패드 |
| PPS | 압출 또는 압축 성형 | 연속 약 220 °C | CMP 리테이닝 링, 약액측 부품 |
| PTFE 및 PFA | 성형 로드 및 시트 | 연속 약 260 °C | 습식 공정 부품, 씰, 라이너 |
| Alumina 99.5 퍼센트 | 소결 후 연삭 또는 래핑 | 공정 범위를 크게 상회 | 절연체, 웨이퍼 접촉 부품, 통상 세라믹 전문 업체 |
ASTM E595는 폴리머의 일반적인 아웃가싱 선별 기준으로, 총 질량 손실 1.0 퍼센트 이하, 수집된 휘발성 응축 물질 0.10 퍼센트 이하입니다. 정확한 등급에 대해 제조사 데이터를 요청하십시오. 자세한 내용은 습식 공정 장비용 PFA, PVDF, PEEK와 웨이퍼 장비의 알루미나와 AlN에 있습니다.
인증서와 추적성
서류도 재료의 일부입니다. 인증서 종류를 도면에 적지 않으면 견적에 들어가지 않습니다.
- EN 10204 3.1재료 제조사가 발행하는 검사 인증서로, 해당 히트의 실측 화학 성분과 기계적 성질이 들어 있습니다. 진공 및 가스 부품에서 통상 요청하는 서류입니다.
- EN 10204 3.2같은 결과를 독립 검사원 또는 구매자의 대리인이 확인한 것입니다. 핵심 부품에만 요청하며 제강소에서 시간이 더 걸립니다.
- 히트 로트 추적성인증서의 히트 번호를 각 부품 또는 로트에 표시하거나 기록해, 재료 문제가 생기면 사용한 소재까지 추적할 수 있게 합니다.
- 사용 제한 재료 목록귀사가 특정 물질을 금지하거나 신고를 요구한다면 목록을 견적 요청과 함께 보내십시오. 업체가 살 수 있는 소재가 좁아집니다.
- 표면 처리 인증서아노다이즈, 도금, 전해연마 라인은 배치마다 자체 인증서를 발행합니다. 치수 검사 성적서와 함께 요청하십시오.
재료에 대한 질문
챔버 본체에는 6061과 5083 중 어느 것이 낫습니까
6061-T6은 깨끗하게 가공되고 실링면이 잘 유지되며 경질 아노다이즈가 고르게 입혀져, 기계 가공하는 챔버 본체와 리드 대부분에 적합합니다. 5083은 용접 후에도 강도가 많이 유지되고 두꺼운 플레이트로 공급되어 대형 용접 본체에 흔히 선택됩니다. 용접 설계가 대개 결정합니다.
316L이 필요합니까, 304L이면 됩니까
구조와 포어라인 부품에는 보통 304L이면 충분합니다. 접가스 부품, 순도를 위해 전해연마하는 부품, 부식성 공정 가스에 노출되는 부품에는 보통 316L을 요구하며, 초고순도 가스 라인은 316L VIM-VAR까지 가는 경우가 많습니다. 316L의 몰리브덴이 내식성을 높입니다.
3.1 인증서란 무엇이며 필요합니까
EN 10204 type 3.1 검사 인증서는 재료 제조사가 발행하며 해당 히트의 실측 화학 성분과 기계적 성질을 기재합니다. 진공 및 가스 부품 도면 대부분은 실제 사용한 소재의 히트 로트에 연결된 인증서를 요구합니다. 등급 이름만 되풀이하는 판매상 인증서는 같은 서류가 아닙니다.
PEEK을 챔버 내부에 쓸 수 있습니까
대개 가능합니다. 무충전 PEEK과 폴리이미드는 베이크 후 아웃가싱이 적어 진공 내부에서 흔히 쓰입니다. 충전재와 안료가 결과를 바꾸므로 등급을 확인하고, 제조사에 ASTM E595에 따라 측정한 아웃가싱 데이터를 요청하십시오.