진공 부품이 거치는 경로
모든 부품에 모든 단계가 필요한 것은 아닙니다. 대기측 브래킷은 검사에서 끝납니다. 접가스 가스 블록은 여덟 단계를 모두 거치며, 마지막 세 단계가 팹의 수락 여부를 결정합니다.
| 단계 | 내용 | 도면에 있어야 할 내용 | 흔히 틀어지는 지점 |
|---|---|---|---|
| 재료 출고 | 등급에 맞춰 플레이트 또는 바를 구매합니다. 히트 로트를 기록하고 부품과 함께 관리합니다. | 합금, 열처리 상태, 인증서 종류, 사용 제한 재료 목록. | 밀 시트 대신 판매상 인증서가 오거나 열처리 상태가 다릅니다. |
| 황삭과 안정화 | 대량 제거 후, 대형 플레이트는 마무리 절삭 전에 안정화 시간을 두거나 열적 응력 제거를 합니다. | 평탄도 지정과 부품 사용 방식에 맞는 데이텀 체계. | 안정화 단계를 건너뜁니다. 플레이트가 움직여 납품 후 평탄도가 틀어집니다. |
| 정삭 | 실링면, O-링 홈, 보어, 나사를 최종 치수로 절삭합니다. | 면별 Ra, 홈 규격, 나사 사양, 벤트 여부. | 표제란에 Ra 값이 하나만 있고 모든 면에 적용됩니다. |
| 용접 | 스테인리스에 TIG 또는 전자빔 용접을 합니다. UHV 부품에서는 진공측에서 완전 용입으로 접합합니다. | 이음부 설계, 용접 규격, 용접 후 누설률. | 바깥쪽 용접으로 이음부 뒤에 갇힌 공간이 남습니다. |
| 버 제거와 사전 세정 | 버를 제거하고, 어떤 표면 처리 라인에 보내기 전에 절삭유를 제거합니다. | 모서리 처리, 실리콘 불사용, 제한이 있다면 승인된 절삭유. | 교차 드릴링한 가스 유로의 교차부에 버가 남습니다. |
| 표면 처리 | 아노다이즈, 무전해 니켈, 전해연마, 부동태화 또는 비드 블라스트를 대개 전문 라인에서 합니다. | 사양, 등급, 두께, 마스킹 도면, 치수가 코팅 전인지 후인지. | 마스킹 도면이 없어 나사와 실링면까지 코팅됩니다. |
| 검사 | 지정된 경우 CMM, 표면 거칠기, 평탄도, 누설 시험을 합니다. | 어떤 형상을 어떤 샘플 수로 보고하는지. | 업체가 핵심으로 표시한 형상만 다루는 성적서입니다. |
| 정밀 세정과 포장 | 초음파 세척, DI수 린스, 건조 후 청정 구역에서 백에 담습니다. | 세정 사양, 백 재질, 퍼지, 라벨 위치. | 라인을 나올 때는 깨끗했던 부품에 일반 포장을 합니다. |
어떤 공정이 어떤 형상을 만드는가
일반적인 가공 능력으로, 업체가 통상 다루는 범위로 읽어야 하며 귀사 부품에 대한 보증이 아닙니다. 견적을 내는 업체가 귀사의 형상과 재료에서 무엇을 유지할 수 있는지 확인합니다.
| 형상 | 통상 공정 | 일반 가공 능력 | 도면 참고 사항 |
|---|---|---|---|
| 챔버 본체의 큰 실링면 | 대형 커터로 정면 밀링, 가벼운 마무리 패스, 패스 사이에 클램프 해제 | 500 mm에서 평탄도 0.02 ~ 0.05 mm, Ra 0.4 ~ 0.8 um | 평탄도를 자유 상태로 측정하는지 구속 상태로 측정하는지 적어 주십시오. |
| O-링 홈, 사각 또는 도브테일 | 윤곽 밀링, 도브테일 총형 커터 | 홈 크기는 씰 제조사 표에 따름, 씰 접촉면 Ra 0.4 ~ 0.8 um | 씰 경로를 가로지르는 반경 방향 공구 자국은 누설을 일으킵니다. 원주 방향 가공 결을 요청하십시오. |
| CF 나이프 에지 | 선삭 후 절삭 직후 보호 | 에지 형상은 ISO 3669 플랜지 치수에 따름 | 취급 중 에지 손상은 흔한 불합격 사유입니다. 캡은 기계에서 바로 씌웁니다. |
| 샤워헤드 가스 구멍 | 소경 펙 드릴링, 가장 작은 구멍은 EDM 드릴링 | 구멍 수 수백에서 수천 개, 균일한 직경과 깨끗한 출구 | 작업 중 드릴 마모가 유량을 바꿉니다. 공구 교체 방식을 물어보십시오. |
| 교차 드릴링한 가스 유로 | 깊은 구멍 드릴링, 접근 구멍은 플러그 또는 용접 | 긴 길이 대 직경비, 교차부 버 제거 | 가공 후 전해연마는 전해액이 닿는 표면에만 효과가 있습니다. |
| 웨이퍼 접촉면 또는 척 면 | 평면 연삭, 래핑 | 소형 부품에서 평탄도 0.01 mm 미만 | 온도가 관리된 환경에서 화강암 기준면 위에서 측정하십시오. |
평탄도와 Ra는 그것을 갖는 형상에 적용합니다. 모든 면을 실링면 값으로 맞춘 부품은 제품 하나하나의 비용이 더 듭니다.
표면 처리 옵션과 부품에 미치는 영향
각각은 치수, 표면의 화학적 성질, 또는 둘 다를 바꿉니다. 공정 이름만이 아니라 규격, 등급, 두께를 적어 주십시오.
- Type III 경질 아노다이즈MIL-A-8625 Type III. 통상 두께 25 ~ 50 um이며 절반쯤은 바깥쪽으로 자라고 나머지 절반은 금속 안쪽으로 들어갑니다. 6061과 5083의 플라즈마 접촉면과 마모면에 씁니다. 봉공 방법은 지정 사항입니다. 고온 DI수, 무봉공, 금속염 봉공은 챔버 안에서 거동이 다르며, 많은 공정 챔버 사양이 금속염 봉공을 배제합니다.
- Type II 황산 아노다이즈MIL-A-8625 Type II, 통상 5 ~ 25 um. 대기측 부품의 내식성과 색상을 위한 것입니다. 플라즈마 차단막이 아닙니다.
- 무전해 니켈AMS 2404 또는 ASTM B733. 보어와 포켓 안에서도 두께가 균일하며 통상 5 ~ 25 um입니다. 중인(5 ~ 9 퍼센트)은 내마모용, 고인(10 퍼센트 이상)은 내식용입니다. 금속 오염 우려 때문에 많은 공정 사양이 플라즈마 접촉면과 접가스면에서 니켈을 배제하므로, 기구부, 프레임, 대기측 부품에서 더 흔합니다.
- 전해연마스테인리스의 변질된 표면층을 양극 용해로 제거합니다. Ra를 낮추고 표면의 크롬 함량을 높입니다. ASTM B912는 전해연마에 의한 부동태화를 다룹니다. 가스 시스템의 접가스 316L은 흔히 Ra 0.25 um 이하를 요구하며, SEMI F19에 준하는 표면 검사를 합니다.
- 부동태화ASTM A967 또는 AMS 2700, 질산 또는 구연산. 치수 변화 없이 스테인리스의 유리 철분을 제거합니다. 전해연마와 함께 지정되는 경우가 많습니다.
- 비드 블라스트균일한 무광 마감 또는 용사 코팅 아래의 표면 전처리입니다. 매체 종류와 입도를 도면에 적어야 하고, 그 뒤의 세정도 마찬가지입니다. 남은 매체가 파티클 발생원이기 때문입니다.
- 용사 코팅식각 부품에는 이트리아 또는 알루미나, PVD 실드에는 아크 용사 텍스처를 씁니다. 코팅 전문 업체가 합니다. 가공업체는 표면을 준비하고, 코팅이 닿으면 안 되는 모서리를 마스킹하고 보호합니다.
코팅 쪽의 자세한 내용은 식각 부품의 내플라즈마 코팅과 가스 부품 316L 전해연마를 참고하십시오. 양극 처리의 배경은 아노다이징에 있습니다.
정밀 세정은 호의가 아니라 공정입니다
진공에서 쓰는 부품의 통상적인 순서입니다. 세정 사양이 있으면 그것이 이를 대체하며, 견적에 반영되도록 도면에 있어야 합니다.
탈지
절삭유와 취급 중 묻은 기름을 용제 또는 알칼리 탈지제로 제거합니다.
초음파 세척
알칼리 세제 조에서, 막힌 구멍의 액이 빠지고 캐비테이션이 내부 면에 닿도록 부품을 고정합니다.
DI수 린스
탈이온수로 캐스케이드 또는 스프레이 린스를 합니다. 마지막 린스의 비저항이 물어볼 가치가 있는 수치입니다.
건조
여과된 질소 또는 청정 건조 공기로 건조한 뒤, 나사나 유로에 물이 숨을 수 있는 경우 오븐을 씁니다.
베이크(지정된 경우)
포장 전에 진공 또는 대기 베이크로 수분과 가벼운 유기물을 날립니다. 도면이 요구할 때만 합니다.
이중 포장과 라벨
안쪽 백은 청정 구역에서 봉하고, 바깥쪽 백은 운송용이며, 라벨은 바깥쪽 백에만 붙입니다.
그 뒤의 규정은 진공 부품의 청결도와 표면 마감을 참고하십시오.
경로 안에 들어가는 시험
성적서를 읽을 시험만 요청하십시오. 각각이 별도 항목입니다.
- 헬륨 누설 시험헬륨을 추적 가스로 쓰는 질량 분석기 시험으로, 스프레이, 후드, 백 방식이 있습니다. UHV 부품은 통상 1 x 10-9 mbar L/s 부근 또는 그 이하로 지정합니다. ISO 20485가 추적 가스 방법을 설명합니다. 챔버 부품의 헬륨 누설 시험을 참고하십시오.
- CMM 성적서도면 개정판에 대한 전체 또는 부분 치수 성적서입니다. 형상과 샘플 수를 명시하십시오. CMM 및 평탄도 성적서를 참고하십시오.
- 표면 거칠기Ra 지정이 있는 면을 조도계로 측정하며, 중요한 경우 컷오프 길이를 명시합니다.
- RGA 또는 아웃가싱베이크 후 잔류 가스 분석으로, 대개 UHV 부품이나 초도품에 합니다. 업체 또는 외부 시험소에서 수행합니다.
- 파티클 또는 와이프 시험도면에 청결도 수준이 명시된 경우 세정 후 액중 파티클 카운트 또는 와이프 시험을 합니다.
가격을 낮추는 설계 메모
- 막힌 탭 구멍에는 벤트를 내거나 벤트 나사를 지정하십시오. 나사 뒤에 갇힌 공간은 가상 누설입니다. 벤트 나사와 진공 체결 부품을 참고하십시오.
- Ra는 기능상 필요한 곳에만 주십시오. Ra 0.8 um는 절삭 공구만으로 나오고, Ra 0.4 um 이하는 마무리 패스와 검사 시간이 필요합니다.
- 용접은 진공측에서 완전 용입으로 하도록 설계하고, 변형이 문제 되는 곳에는 용접 후 가공 여유를 남기십시오.
- 내부 유로는 세정 및 전해연마 매체가 닿을 수 있게 하십시오. 전해액이 닿지 않는 유로는 가공한 표면 그대로 남습니다.
공정 경로에 대한 질문
공차는 아노다이즈 전과 후 중 언제 기준으로 적어야 합니까
어느 쪽인지 명시하십시오. Type III 경질 아노다이즈는 각 면이 코팅 두께의 약 절반씩 자라므로, 보어는 직경에서 거의 두께 한 번만큼 줄어듭니다. 끼워 맞춤에서는 대부분의 도면이 코팅 후 치수로 적고 코팅 두께를 함께 주어 업체가 작게 가공하게 합니다. 나사와 실링면은 보통 마스킹합니다.
전해연마와 부동태화는 같은 것입니까
아니요. ASTM A967에 따른 부동태화는 치수를 건드리지 않고 유리 철분을 제거하는 화학 처리입니다. 전해연마는 금속을 제거하고 Ra를 낮추며 표면도 함께 부동태화하며, 이것이 ASTM B912가 다루는 내용입니다. 접가스 316L에는 보통 전해연마를 하고, 구조용 스테인리스에는 보통 부동태화만 합니다.
한 업체가 이 모든 단계를 수행할 수 있습니까
기계 가공, 버 제거, 검사, 세정은 보통 자체 수행합니다. 아노다이즈, 도금, 전해연마, 용사는 보통 업체가 구매하는 전문 라인이 합니다. 어떤 단계가 외부 공정이고 누가 하는지 물어보십시오. 그 답이 납기의 대부분을 설명해 줍니다.
도면에 어떤 누설률을 적어야 합니까
시스템에 필요한 누설률에 단위, 시험 방법(스프레이, 후드, 백), 추적 가스, 그리고 부품에 적용되는지 조립체에 적용되는지를 함께 적으십시오. 방법이 없으면 업체는 시험 비용을 낼 수 없고, 두 업체가 서로 다른 방식으로 시험하게 됩니다.