Usinagem CNC para Peças de Equipamentos de Semicondutores
Envie um desenho e a especificação que realmente importa. Encaminhamos a até 3 oficinas de usinagem que já fazem essa classe de peça, e você recebe resposta em até 24 horas úteis.
Por que os compradores enviam aqui suas peças para semicondutores
Tudo se resume à combinação: oficinas adequadas à sua peça desde o primeiro orçamento.
Combinação por especialidade
Sua solicitação vai para até 3 oficinas que já fazem essa classe de peça, escolhidas pela classe de peça, material e especificação de vácuo. Não é um diretório genérico.
Fornecedores profissionais
As oficinas da rede orçam pelo seu desenho, comunicam-se com clareza e mantêm você informado durante a fabricação.
Você negocia com a oficina
Orçamento, condições e entrega são acertados entre você e a oficina. Gratuito para compradores.
As peças que encaminhamos
Um nicho, quatro famílias. Se a sua peça não está nesta lista, diga isso na RFQ e responderemos com franqueza se conseguimos atendê-la.
Componentes de câmara e tampa
Corpos grandes de alumínio e aço inoxidável, em que a planicidade, as faces de vedação e o acabamento interno decidem se a câmara segura o vácuo.
- Corpos e tampas de câmara
- Liners e blindagens
- Blanks de showerhead
- Corpos de pedestal e aquecedor
Manuseio de wafers
Peças finas e leves, em que planicidade, balanceamento e comportamento de partículas pesam mais do que a tolerância bruta.
- End effectors e lâminas
- Braços e elos de transferência
- Chucks e anéis de wafer
- Peças de aligner e de pinos de elevação
Distribuição de gás e vácuo
Peças pequenas em contato com o fluido, em que o acabamento da superfície interna, a limpeza e a estanqueidade são todo o trabalho.
- Blocos de manifold
- Corpos de flange CF e KF
- Corpos de passagem e adaptadores
- Corpos de válvulas e conexões
Estruturas, gabaritos e dispositivos de teste
Trabalho estrutural e de ferramental sem especificação de vácuo, em que planicidade, paralelismo e repetibilidade formam o preço.
- Estruturas e conjuntos soldados de máquina
- Suportes de EFEM e load port
- Dispositivos de teste e burn-in
- Gabaritos de montagem e manuseio
A sua peça precisa de uma oficina de semicondutores?
Marque o que se aplica. Nada é enviado, a resposta aparece abaixo.
A maioria dessas regras custa dinheiro em cada peça, então a oficina que cota já deveria estar acostumada com elas.
Trabalho em grau de vácuo é outro serviço
Uma oficina pode cumprir a sua tolerância e ainda assim devolver uma peça que a fab não aceita. A diferença raramente está na usinagem.
Precisão geral
- Material comprado pela classe
- Rebarbar, lavar, embrulhar
- Acabamento cotado conforme a nota do desenho
- Relatório de inspeção sob solicitação
- Encaixotado com a embalagem de sempre
Grau de vácuo
- Certificado de usina e lote de corrida mantidos com a peça
- Área de manuseio limpa, sem silicone, meios controlados
- Linha de acabamento qualificada para o revestimento indicado
- Relatório dimensional como entrega, não como favor
- Limpeza de precisão, saco duplo, etiqueta fora do saco
Pergunte a uma oficina quais dos cinco pontos à direita ela faz internamente e quais compra de terceiros. A resposta diz mais do que uma lista de capacidades.
Materiais e faixas típicas
A palavra que importa é típico. São as faixas em que as oficinas costumam trabalhar, não uma promessa para a sua peça.
| Material | Tolerância típica | Ra típico | Acabamento usual | Onde é usado |
|---|---|---|---|---|
| Alumínio 6061-T6 | ±0.01 a ±0.025 mm | 0.4 a 0.8 um | Anodização dura Tipo III, anodização Tipo II, jateamento | Corpos de câmara, tampas, suportes, a maioria das peças estruturais |
| Alumínio 5052 / 5083 | ±0.025 mm | 0.8 a 1.6 um | Anodização, jateamento | Chapas e conjuntos soldados, tampas, dutos |
| Inox 316L | ±0.01 a ±0.025 mm | 0.2 a 0.4 um | Eletropolimento, passivação | Caminhos de gás em contato com o fluido, flanges, hardware UHV |
| Inox 304L | ±0.025 mm | 0.4 a 0.8 um | Passivação, jateamento | Estruturas, estrutura de vácuo sem contato com o fluido |
| Titânio Gr 2 / Gr 5 | ±0.01 a ±0.025 mm | 0.4 a 0.8 um | Anodização, passivação | Áreas de processo corrosivas, peças estruturais leves |
| PEEK | ±0.05 mm | 0.8 a 1.6 um | Usinado, limpeza de precisão | Isoladores, peças de contato com o wafer, baixa desgaseificação |
| Vespel SP-1 | ±0.05 mm | 0.8 a 1.6 um | Usinado | Isoladores de alta temperatura, peças de desgaste |
| Alumina 99.5 | ±0.05 mm após queima | Retificado conforme a especificação | Lapidação, retífica | Isoladores e peças de contato com o wafer, em geral numa empresa de cerâmica |
Tolerância e Ra valem para a feature que as exige, não para a peça inteira. Colocar um único número na legenda do desenho é o caminho mais rápido para um preço que ninguém queria. Os graus com designações UNS, EN e JIS estão na página de materiais.
Acabamento e limpeza
Essas etapas vêm depois do último corte e carregam a maior parte do risco de prazo.
- Anodização dura Tipo IIIÓxido de alumínio espesso e duro para superfícies expostas ao plasma e ao desgaste. A peça cresce, então o desenho precisa dizer se a tolerância é antes ou depois do revestimento.
- Anodização sulfúrica Tipo IIMais fina e mais barata. Usada onde a superfície precisa de resistência à corrosão, mas não de resistência ao plasma.
- EletropolimentoRemove a camada espalhada pela usinagem no inox e reduz o Ra interno. Padrão em peças de caminho de gás e hardware UHV.
- PassivaçãoRemoção química do ferro livre do inox. Barata, rápida, muitas vezes especificada junto com o eletropolimento.
- JateamentoUma superfície fosca uniforme que segura revestimentos e esconde marcas de ferramenta. O próprio meio de jateamento vira uma questão de limpeza.
- Limpeza de precisão e saco duploEnxágue ultrassônico ou com água DI, secagem e depois um saco dentro de outro saco em área limpa. É aqui que uma cotação barata e uma peça utilizável se separam.
Todo o caminho do material bruto até a peça ensacada, etapa por etapa: processos.
Áreas de processo de onde vêm as RFQs
A família da peça importa mais do que a máquina onde ela termina, mas a máquina diz à oficina o que esperar.
Deposição
CVD, PVD e ALD. Corpos de câmara, liners, blanks de showerhead, peças de aquecedor.
Etch
Alumínio voltado ao plasma com anodização dura ou revestimento por aspersão, além de hardware adjacente de quartzo e cerâmica.
CMP
Carriers, hardware de retenção, manifolds e conexões em contato com o slurry.
Implantação iônica
Hardware de linha de feixe, suportes adjacentes de grafite, estrutura de alto vácuo.
Metrologia e inspeção
Mesas, suportes de ótica e sensores, suportes rígidos de baixa massa.
EFEM e manuseio de wafers
End effectors, braços, peças de load port e aligner, estruturas.
Teste e burn-in
Kits de troca, hardware adjacente a sockets, placas térmicas, dispositivos.
Montagem e encapsulamento
Gabaritos de bonding e manuseio, carriers, bandejas, placas de ferramental.
Materiais, acabamentos e pontos de aceitação habituais por módulo: aplicações.
Como funciona
Três etapas, e a terceira não nos envolve.
Você envia o desenho
Modelo, desenho, quantidade, as indicações de acabamento e limpeza e a região de fornecedor desejada. Antes, um NDA, se você precisar.
Nós avaliamos e encaminhamos
Verificamos se a RFQ está completa e a oferecemos a até 3 oficinas cujas máquinas, materiais e cadeia de acabamento atendem a peça. As oficinas veem uma prévia sem nome e sem arquivos.
A oficina cota diretamente a você
Você compara cotações, faz as suas perguntas e faz o pedido na oficina que escolher. Não cobramos comissão sobre esse pedido.
O que forma o preço
Vale ler antes de apertar um número no desenho.
- Material e nível de certificadoUma chapa 6061 com certificado de usina e uma barra 316L com rastreabilidade da corrida são compras diferentes. Listas de materiais restritos reduzem as oficinas que conseguem comprar o material.
- Tolerância e geometriaGrandes faces de vedação planas, bolsões profundos e paredes finas elevam a fixação e os ciclos de alívio de tensões. Uma tolerância um passo mais apertada do que a função exige é paga em cada peça.
- Acabamento superficialRa 0.8 um sai direto da fresa. Ra 0.4 um e melhor exige passe de acabamento, avanços menores e inspeção, e vale apenas onde o desenho indica.
- Cadeia de acabamentoAnodização, eletropolimento e passivação são processos externos. Cada um acrescenta dias, um trecho de transporte e risco de retrabalho se o mascaramento estiver errado.
- Limpeza e embalagemLimpeza de precisão, ensacamento para sala limpa e purga com nitrogênio são itens de linha, não cortesias. Peça-os no desenho ou espere o método mais barato.
- Quantidade e repetiçãoProgramação e dispositivos são pagos uma vez. Em 1 a 5 peças eles são a maior parte do preço, e uma expectativa de repetição declarada costuma baixar também o primeiro pedido.
Envie uma RFQ rápida
Quatro campos e um arquivo. Se preferir preencher o formulário completo, com material, tolerância, acabamento e região, use a página completa de RFQ.
Prefere e-mail? Escreva para e anexe o desenho.
Já faz essas peças?
Vendemos cada RFQ avaliada como lead para oficinas de usinagem que atendem a peça. Você compra o lead, cota diretamente ao comprador e fica com o pedido inteiro. Não cobramos comissão sobre o que você ganhar.
O cadastro é gratuito e não obriga você a comprar nada.
- Você vê uma prévia primeiroFamília da peça, material, envelope, quantidade, tolerância, região e prazo. Sem nome do comprador, sem arquivos.
- Lista curta, não leilãoNo máximo 3 oficinas recebem a mesma RFQ.
- Relação diretaVocê cota ao comprador, fatura ao comprador, fica com o cliente.
Fornece para as oficinas que fazem essas peças?
Material em grau de vácuo, ferramentas de corte e fixação, tratamento de superfície e revestimento, limpeza de precisão e embalagem para sala limpa, metrologia e testes de vazamento ou desgaseificação. Diga o que você vende e apresentamos você a oficinas que precisam disso.
As apresentações são gratuitas. Ninguém paga para ser citado em um guia.
- Apresentação, não listaNão vendemos listas de contatos. Um vendor e uma oficina por vez, e só quando a oficina concorda.
- Citado só onde cabeUm vendor aparece em um guia quando sustenta um ponto técnico, nunca como posicionamento pago.
Perguntas dos compradores
Vocês usinam as peças?
Não. Somos um serviço de correspondência, não uma oficina de usinagem. Não temos máquinas e não cotamos peças. As oficinas que respondem a você operam as máquinas, e o pedido é feito com elas.
É gratuito para compradores?
Sim. Enviar uma RFQ e receber cotações não custa nada. As oficinas de usinagem nos pagam por uma solicitação encaminhada. Preço, prazo e condições são combinados entre você e a oficina.
Quem vê o meu desenho?
As oficinas veem primeiro uma prévia com família da peça, material, envelope de tamanho, quantidade, tolerância e prazo. A prévia não traz nome, empresa nem arquivos. Seus dados de contato e arquivos vão apenas às oficinas que encaminhamos, até 3. Se você pedir um NDA, os arquivos ficam conosco até que ele seja assinado.
Como vocês decidem quais oficinas recebem a minha RFQ?
Dois filtros. Primeiro, a família da peça e a especificação do desenho, para que uma oficina que nunca manteve Ra 0.4 um em uma face de vedação não veja uma peça de vedação. Segundo, a região de fornecedor que você escolhe no formulário.
Vocês atendem peças sob uma qualificação existente ou uma especificação da fab?
Envie a especificação junto com o desenho. Se a peça estiver ligada a uma qualificação, a um procedimento de limpeza nomeado ou a um padrão de embalagem específico da fab, diga isso na descrição. As oficinas que não conseguem cumprir fazem melhor em não cotar.
Quais arquivos devo enviar?
Um modelo STEP ou IGES mais um desenho em PDF com tolerâncias, indicações de acabamento superficial, material e têmpera e qualquer nota de limpeza ou embalagem. DWG e DXF também servem. Um modelo sem desenho costuma voltar com perguntas em vez de preço.
Guias
Especificações, fatores de custo e perguntas para fornecedores, escritos para quem está com o desenho na mão.
- Custo
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- Processo
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- Materiais
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