バイヤーがここに半導体装置部品の加工を依頼する理由
大切なのはマッチングです。最初の見積もりから、部品に合った加工会社につながります。
専門性でマッチング
ご依頼は、この種類の部品をすでに加工している最大3社の加工会社に届きます。部品の種類、材料、真空仕様で選定しており、一般的なディレクトリではありません。
プロフェッショナルなサプライヤー
ネットワークの加工会社は図面どおりに見積もり、明確にやり取りし、製作中も進捗をお知らせします。
加工会社と直接取引
見積もり、条件、納品は加工会社と直接お決めいただけます。バイヤーは無料です。
対応する部品
対象は1分野、部品は4つの系統です。ここにない部品は、見積依頼にその旨をご記入ください。マッチングできるかどうかを率直にお伝えします。
チャンバーと蓋の部品
平面度、シール面、内面の仕上げでチャンバーの気密が決まる、大型のアルミ・ステンレス部品です。
- チャンバー本体と蓋
- ライナーとシールド
- シャワーヘッド素材
- ペデスタルとヒーター本体
ウェーハ搬送
薄くて軽く、公差そのものよりも平面度、バランス、パーティクルの挙動が重要な部品です。
- エンドエフェクタとブレード
- 搬送アームとリンク
- ウェーハチャックとリング
- アライナーとリフトピンの部品
ガス供給と真空
内面の仕上げ、清浄度、リーク性能がそのまま品質になる、小型の接ガス部品です。
- マニホールドブロック
- CFおよびKFフランジ本体
- フィードスルーとアダプター本体
- バルブと継手の本体
フレーム、治具、試験用フィクスチャ
真空仕様のない構造物や治工具で、平面度、平行度、再現性が価格を決めます。
- 装置フレームと溶接構造物
- EFEMとロードポートのブラケット
- 試験・バーンイン用フィクスチャ
- 組立・搬送用の治具
その部品に半導体向けの加工会社は必要ですか
当てはまる項目にチェックを入れてください。情報はどこにも送信されず、結果は下に表示されます。
これらの指定の多くは、1個ごとにコストがかかります。見積を出す加工会社は、すでにこうした要求に慣れている必要があります。
真空仕様の加工は別の仕事です
公差を守れる加工会社でも、ファブが受け入れない部品を納めることがあります。原因が切削にあることはほとんどありません。
一般的な精密加工
- グレードに合わせて素材を購入
- バリ取り、洗浄、包装
- 仕上げは図面の注記ごとに見積
- 検査成績書はご要望に応じて
- 通常の梱包で出荷
真空仕様
- ミルシートとヒートロットを部品と一緒に保管
- 清浄な作業エリア、シリコーン不使用、管理された加工媒体
- 指定コーティングに対応した認定済みの表面処理ライン
- 寸法検査成績書は好意ではなく納品物として提出
- 精密洗浄、二重袋、袋の外側にラベル表示
右側の5項目のうち、どれを自社で行い、どれを外注しているか加工会社に尋ねてください。その答えは、設備リストよりも多くのことを教えてくれます。
材料と一般的な範囲
ここで大切なのは「一般的」という言葉です。加工会社が通常扱う範囲であり、お客様の部品での保証ではありません。
| 材料 | 一般的な公差 | 一般的なRa | 主な仕上げ | 主な用途 |
|---|---|---|---|---|
| Aluminum 6061-T6 | ±0.01〜±0.025 mm | 0.4〜0.8 um | Type III硬質アルマイト、Type IIアルマイト、ビーズブラスト | チャンバー本体、蓋、ブラケット、ほとんどの構造部品 |
| Aluminum 5052 / 5083 | ±0.025 mm | 0.8〜1.6 um | アルマイト、ビーズブラスト | 板金・溶接構造物、カバー、ダクト |
| Stainless 316L | ±0.01〜±0.025 mm | 0.2〜0.4 um | 電解研磨、不動態化処理 | 接ガス流路、フランジ、UHV部品 |
| Stainless 304L | ±0.025 mm | 0.4〜0.8 um | 不動態化処理、ビーズブラスト | フレーム、接ガスしない真空構造部 |
| Titanium Gr 2 / Gr 5 | ±0.01〜±0.025 mm | 0.4〜0.8 um | アルマイト、不動態化処理 | 腐食性のプロセス領域、軽量構造部品 |
| PEEK | ±0.05 mm | 0.8〜1.6 um | 機械加工のまま、精密洗浄 | 絶縁部品、ウェーハ接触部品、低アウトガスが必要な用途 |
| Vespel SP-1 | ±0.05 mm | 0.8〜1.6 um | 機械加工のまま | 高温用の絶縁部品、摩耗部品 |
| Alumina 99.5 | 焼成のまま±0.05 mm | 仕様に合わせて研削 | ラッピング、研削 | 絶縁部品とウェーハ接触部品、通常はセラミックス専門会社 |
公差とRaは、それを必要とする形状に適用するもので、部品全体には適用しません。表題欄に数値を1つだけ書くと、誰も望まなかった価格になる近道です。UNS、EN、JISの規格名を含む材質は材料のページに掲載しています。
表面処理と清浄度
これらの工程は最後の切削のあとに行われ、納期リスクの大半を占めます。
- Type III硬質アルマイトプラズマにさらされる面や摩耗面向けの、厚くて硬い酸化アルミニウム皮膜です。部品の寸法が増えるため、公差がコーティング前か後かを図面に明記する必要があります。
- Type II硫酸アルマイトより薄く、低コストです。耐食性は必要でも耐プラズマ性は不要な面に使います。
- 電解研磨ステンレスの加工で生じた変質層を取り除き、内面のRaを下げます。接ガス部品とUHV部品では標準的な処理です。
- 不動態化処理ステンレス表面の遊離鉄を化学的に除去します。安価で短時間で済み、電解研磨と併せて指定されることが多い処理です。
- ビーズブラスト均一なつや消し面にして、コーティングの密着を高め、工具跡を目立たなくします。ブラスト用メディア自体も清浄度の課題になります。
- 精密洗浄と二重袋超音波洗浄またはDI水リンス、乾燥のあと、クリーンエリアで袋の中にさらに袋を入れて包装します。安い見積と使える部品が分かれるのは、この工程です。
素材から袋詰めまでの全工程は加工プロセスで順を追って説明しています。
見積依頼をいただくプロセス領域
部品の種類は、最終的に使われる装置よりも重要ですが、装置を知ることで加工会社は何を想定すべきかが分かります。
成膜
CVD、PVD、ALD。チャンバー本体、ライナー、シャワーヘッド素材、ヒーター部品。
エッチング
硬質アルマイトまたは溶射コーティングを施したプラズマ接触面のアルミ部品と、石英・セラミックスに隣接する部品。
CMP
キャリア、リテーナ部品、スラリーが触れるマニホールドと継手。
イオン注入
ビームライン部品、グラファイトに隣接するマウント、高真空の構造部。
計測・検査
ステージ、光学・センサーのマウント、高剛性で軽量なブラケット。
EFEMとウェーハ搬送
エンドエフェクタ、アーム、ロードポートとアライナーの部品、フレーム。
試験・バーンイン
チェンジキット、ソケット周辺の部品、サーマルプレート、フィクスチャ。
組立・パッケージング
ボンディング用・搬送用の治具、キャリア、トレイ、ツーリングプレート。
モジュールごとの一般的な材料、表面処理、受入の判断点は用途をご覧ください。
ご利用の流れ
3つのステップで、3つ目に当方は関与しません。
図面を送る
モデル、図面、数量、仕上げと清浄度の指定、希望するサプライヤーの地域をお送りください。必要であれば、先にNDAを締結します。
内容を確認してマッチング
見積依頼の内容が揃っていることを確認し、設備、材料、表面処理の体制が部品に合う最大3社に提示します。加工会社に見えるのは、名前もファイルも含まないプレビューだけです。
加工会社が直接見積
見積を比較し、ご自身で質問し、選んだ加工会社に発注します。その注文に対して、当方は手数料を受け取りません。
価格を左右する要因
図面の数値を厳しくする前に、お読みください。
- 材料と証明書のレベルミルシート付きの6061プレートと、ヒートロットのトレーサビリティ付きの316Lバーは別の購入品です。使用制限材料リストがあると、素材を購入できる加工会社が絞られます。
- 公差と形状大きく平らなシール面、深いポケット、薄肉は、治具と応力除去のサイクルを増やします。機能に必要な公差より1段厳しくすると、その分が全数にかかります。
- 表面粗さRa 0.8 umは切削工具だけで得られます。Ra 0.4 um以下は仕上げパス、低い送り速度、検査が必要で、図面で指定した箇所にだけ適用されます。
- 表面処理の工程アルマイト、電解研磨、不動態化処理は外部の工程です。1つ増えるごとに、日数、輸送、マスキングを誤った場合の手直しリスクが加わります。
- 清浄度と梱包精密洗浄、クリーンルーム用の袋詰め、窒素パージは好意ではなく明細の項目です。図面に指定するか、安価な方法になることを前提としてください。
- 数量とリピートプログラミングと治具の費用は1回だけ発生します。1〜5個では価格の大半を占め、リピートの見込みを伝えると、初回の見積も下がることが多くなります。
これらの部品をすでに加工していますか
確認を終えた見積依頼を、その部品に合う加工会社にリードとして販売しています。リードを購入し、バイヤーに直接見積を提出し、受注した注文はすべて御社のものになります。受注分に手数料はいただきません。
登録は無料で、リードの購入義務もありません。
- 最初にプレビューを確認部品の系統、材料、外形寸法、数量、公差、地域、納期を確認できます。バイヤーの名前とファイルは含まれません。
- 競争入札ではなく少数に限定同じ見積依頼を受け取る加工会社は最大3社です。
- 直接の取引関係見積、請求、顧客との関係は、すべて御社が持ちます。
これらの部品を加工する会社に供給していますか
真空仕様の素材、切削工具と治具、表面処理とコーティング、精密洗浄とクリーンルーム梱包、計測およびリーク・アウトガス試験などです。取り扱い品目をお知らせいただければ、必要としている加工会社をご紹介します。
ご紹介は無料です。ガイドに名前を載せるために費用をいただくことはありません。
- リストではなくご紹介連絡先リストの販売はしません。ベンダー1社と加工会社1社を、加工会社が同意した場合に限ってお引き合わせします。
- 内容に合う場合のみ掲載ベンダー名は、技術的な説明の裏付けになる場合にのみガイドに掲載し、有償の掲載枠は設けません。
バイヤーからのよくある質問
御社で部品を加工していますか
いいえ。当方は加工会社ではなく、マッチングサービスです。機械は所有しておらず、部品の見積も出しません。お返事をお送りする加工会社が機械を持っており、発注はその会社に直接行っていただきます。
バイヤーは無料ですか
はい。見積依頼の送信と見積の受け取りに費用はかかりません。加工会社がマッチングされた依頼に対して当方に支払います。価格、納期、条件は、お客様と加工会社の間で決めます。
図面は誰に見られますか
加工会社が最初に見るのは、部品の系統、材料、外形寸法、数量、公差、納期のプレビューです。プレビューには名前も会社名もファイルも含まれません。連絡先とファイルは、当方がマッチングした最大3社にだけ渡ります。NDAをご希望の場合は、締結までファイルは当方で保管します。
見積依頼を送る加工会社はどのように決めますか
2つの条件で絞ります。1つ目は部品の系統と図面の仕様で、シール面にRa 0.4 umを出した経験のない加工会社には、シール部品を見せません。2つ目は、フォームで選択いただくサプライヤーの地域です。
既存の認定やファブの仕様がある部品にも対応できますか
図面と一緒に仕様をお送りください。認定、指定の洗浄手順、ファブ固有の梱包基準に紐づく部品の場合は、説明欄にその旨をご記入ください。基準を満たせない加工会社は、見積を出さないほうが双方のためです。
どのファイルを送ればよいですか
STEPまたはIGESのモデルと、公差、表面粗さの指定、材料と調質、清浄度や梱包の注記を記載したPDF図面です。DWGとDXFも使えます。図面のないモデルだけの場合は、価格ではなく質問が返ってくることが多くなります。
ガイド
仕様、コスト要因、サプライヤーへの質問を、図面を手にしている方のために書きました。
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