ЧПУ-обработка деталей для полупроводникового оборудования
Отправьте один чертёж и ту спецификацию, которая действительно важна. Мы передадим его не более чем 3 предприятиям, уже делающим такой класс деталей, и Вы получите ответ в течение 24 рабочих часов.
Почему покупатели присылают сюда заказы на детали для полупроводникового оборудования
Всё решает подбор: предприятия, которые подходят под Вашу деталь, с первого предложения.
Подбор по специализации
Запрос получают до 3 предприятий, которые уже делают такой класс деталей. Их выбирают по классу детали, материалу и требованиям к вакууму. Это не общий каталог.
Профессиональные поставщики
Предприятия в сети считают цену по Вашему чертежу, общаются понятно и сообщают о ходе работ во время изготовления.
Работа напрямую с предприятием
Цену, условия и поставку Вы согласуете напрямую с предприятием. Для покупателей бесплатно.
Детали, которые мы передаём
Одна ниша, четыре семейства. Если Вашей детали нет в списке, укажите это в RFQ, и мы прямо скажем, сможем ли подобрать исполнителя.
Компоненты камер и крышек
Крупные корпуса из алюминия и нержавеющей стали, где плоскостность, уплотнительные поверхности и внутренняя чистота определяют, держит ли камера вакуум.
- Корпуса и крышки камер
- Liners и экраны
- Заготовки showerhead
- Корпуса пьедесталов и нагревателей
Транспортировка пластин
Тонкие лёгкие детали, где плоскостность, баланс и поведение частиц важнее, чем абсолютный допуск.
- End effectors и лопатки
- Транспортные рычаги и звенья
- Держатели и кольца для пластин
- Детали aligner и подъёмных штифтов
Подача газа и вакуум
Небольшие детали, контактирующие с газом, где вся работа состоит в чистоте внутренней поверхности и герметичности.
- Блоки манифолдов
- Корпуса фланцев CF и KF
- Корпуса вводов и адаптеров
- Корпуса клапанов и фитингов
Рамы, оснастка и испытательные приспособления
Конструкционные и оснастные работы без требований по вакууму, где цену определяют плоскостность, параллельность и повторяемость.
- Рамы и сварные конструкции станков
- Кронштейны EFEM и load port
- Приспособления для испытаний и burn-in
- Сборочная и транспортная оснастка
Нужно ли Вашей детали предприятие с опытом в полупроводниках?
Отметьте то, что подходит. Ничего не отправляется, ответ появится ниже.
Большинство этих требований удорожает каждую деталь, поэтому предприятие, которое делает расчёт, должно быть к ним привычно.
Работа для вакуума отличается от обычной
Предприятие может выдержать Ваш допуск и всё равно вернуть деталь, которую фабрика не примет. Разница редко в самой обработке.
Обычная точная обработка
- Материал закупается по марке
- Снять заусенцы, помыть, завернуть
- Чистота поверхности по примечанию на чертеже
- Протокол контроля по запросу
- В коробке с обычной упаковкой
Для вакуума
- Заводской сертификат и номер плавки хранятся вместе с деталью
- Чистая зона обращения, без силикона, контролируемые среды
- Линия финишной обработки аттестована под указанное покрытие
- Протокол размеров входит в поставку, а не выдаётся как услуга
- Прецизионная очистка, двойной пакет, этикетка снаружи пакета
Спросите предприятие, какие из пяти пунктов справа оно выполняет само, а какие закупает. Ответ скажет больше, чем список возможностей.
Материалы и типичные диапазоны
Главное слово здесь «типичные». Это диапазоны, в которых обычно работают предприятия, а не обещание для Вашей детали.
| Материал | Типичный допуск | Типичная Ra | Обычная финишная обработка | Где применяется |
|---|---|---|---|---|
| Алюминий 6061-T6 | от ±0.01 до ±0.025 mm | от 0.4 до 0.8 um | Твёрдое анодирование Type III, анодирование Type II, струйная обработка шариками | Корпуса камер, крышки, кронштейны, большинство конструкционных деталей |
| Алюминий 5052 / 5083 | ±0.025 mm | от 0.8 до 1.6 um | Анодирование, струйная обработка шариками | Листовые и сварные изделия, кожухи, воздуховоды |
| Нержавеющая сталь 316L | от ±0.01 до ±0.025 mm | от 0.2 до 0.4 um | Электрополировка, пассивация | Газовые тракты, фланцы, оборудование сверхвысокого вакуума |
| Нержавеющая сталь 304L | ±0.025 mm | от 0.4 до 0.8 um | Пассивация, струйная обработка шариками | Рамы, вакуумные конструкции без контакта со средой |
| Титан Gr 2 / Gr 5 | от ±0.01 до ±0.025 mm | от 0.4 до 0.8 um | Анодирование, пассивация | Агрессивные технологические зоны, лёгкие конструкционные детали |
| PEEK | ±0.05 mm | от 0.8 до 1.6 um | После обработки, прецизионная очистка | Изоляторы, детали контакта с пластиной, низкое газовыделение |
| Vespel SP-1 | ±0.05 mm | от 0.8 до 1.6 um | После обработки | Высокотемпературные изоляторы, изнашиваемые детали |
| Оксид алюминия 99.5 | ±0.05 mm после обжига | Шлифуется по спецификации | Притирка, шлифование | Изоляторы и детали контакта с пластиной, обычно у керамического производителя |
Допуск и Ra относятся к элементу, которому они нужны, а не ко всей детали. Одно число в основной надписи чертежа это самый быстрый путь к цене, которую никто не ждал. Марки с обозначениями UNS, EN и JIS собраны на странице материалов.
Финишная обработка и чистота
Эти операции идут после последнего прохода резца и несут большую часть риска по срокам.
- Твёрдое анодирование Type IIIТолстый твёрдый оксид алюминия для поверхностей, обращённых к плазме, и для изнашиваемых поверхностей. Деталь вырастает, поэтому на чертеже нужно указать, допуск задан до или после нанесения покрытия.
- Сернокислое анодирование Type IIТоньше и дешевле. Применяется там, где поверхности нужна коррозионная стойкость, но не стойкость к плазме.
- ЭлектрополировкаУдаляет размазанный при обработке слой с нержавеющей стали и снижает внутреннюю Ra. Стандарт для деталей газового тракта и оборудования сверхвысокого вакуума.
- ПассивацияХимическое удаление свободного железа с нержавеющей стали. Дёшево, быстро, часто указывается вместе с электрополировкой.
- Струйная обработка шарикамиРавномерная матовая поверхность, которая удерживает покрытия и скрывает следы инструмента. Сам абразив становится вопросом чистоты.
- Прецизионная очистка и двойной пакетУльтразвуковая промывка или промывка деионизированной водой, сушка, затем упаковка «пакет в пакете» в чистой зоне. Именно здесь расходятся дешёвое предложение и годная деталь.
Весь путь от заготовки до упакованной детали по шагам: процессы.
Технологические области, из которых приходят RFQ
Семейство детали важнее, чем установка, в которую она попадёт, но установка подсказывает предприятию, чего ожидать.
Осаждение
CVD, PVD и ALD. Корпуса камер, liners, заготовки showerhead, детали нагревателей.
Травление (etch)
Алюминий, обращённый к плазме, с твёрдым анодированием или напылённым покрытием, а также соседние детали из кварца и керамики.
CMP
Carriers, удерживающие элементы, манифолды и фитинги в контакте с суспензией.
Ионная имплантация
Оборудование линии пучка, графитовые крепления рядом с пучком, конструкции высокого вакуума.
Метрология и контроль
Столики, крепления оптики и датчиков, жёсткие кронштейны малой массы.
EFEM и транспортировка пластин
End effectors, рычаги, детали load port и aligner, рамы.
Испытания и burn-in
Сменные комплекты, детали рядом с гнёздами, термоплиты, приспособления.
Сборка и корпусирование
Оснастка для монтажа и транспортировки, carriers, лотки, плиты оснастки.
Обычные материалы, виды финишной обработки и критерии приёмки по каждому модулю: применение.
Как это работает
Три шага, и третий проходит без нас.
Вы отправляете чертёж
Модель, чертёж, количество, требования к чистоте поверхности и очистке и желаемый регион поставщика. Сначала NDA, если он нужен.
Мы проверяем и подбираем
Мы проверяем, что RFQ полон, затем предлагаем его не более чем 3 предприятиям, у которых станки, материалы и цепочка финишной обработки подходят к детали. Предприятия видят превью без имени и без файлов.
Предприятие даёт цену Вам напрямую
Вы сравниваете предложения, задаёте свои вопросы и размещаете заказ у выбранного предприятия. С этого заказа мы не берём комиссию.
Что определяет цену
Стоит прочитать, прежде чем ужесточать число на чертеже.
- Материал и уровень сертификатаПлита 6061 с заводским сертификатом и пруток 316L с прослеживаемостью по плавке это разные закупки. Списки ограниченных материалов сужают круг предприятий, которые вообще могут купить заготовку.
- Допуск и геометрияБольшие плоские уплотнительные поверхности, глубокие карманы и тонкие стенки увеличивают затраты на закрепление и циклы снятия напряжений. Допуск на ступень жёстче, чем нужно для функции, оплачивается на каждой детали.
- Чистота поверхностиRa 0.8 um получается сразу с фрезы. Ra 0.4 um и лучше требует чистового прохода, меньших подач и контроля и применяется только там, где это указано на чертеже.
- Цепочка финишной обработкиАнодирование, электрополировка и пассивация это внешние процессы. Каждый добавляет дни, плечо перевозки и риск переделки, если маскирование выполнено неверно.
- Чистота и упаковкаПрецизионная очистка, упаковка для чистой комнаты и продувка азотом это отдельные статьи затрат, а не любезность. Указывайте их на чертеже или ждите более дешёвого способа.
- Количество и повторыПрограммирование и оснастка оплачиваются один раз. При количестве от 1 до 5 деталей они составляют большую часть цены, а заявленный ожидаемый повтор обычно снижает и первый заказ.
Отправьте быстрый RFQ
Четыре поля и файл. Если удобнее заполнить полную форму с материалом, допуском, чистотой поверхности и регионом, используйте полную страницу RFQ.
Удобнее по почте? Напишите на и приложите чертёж.
Уже делаете такие детали?
Мы продаём каждый проверенный RFQ как лид предприятиям механообработки, которым подходит деталь. Вы покупаете лид, даёте цену покупателю напрямую и оставляете весь заказ себе. С выигранного заказа мы не берём комиссию.
Регистрация бесплатна и не обязывает Вас ничего покупать.
- Сначала Вы видите превьюСемейство детали, материал, габариты, количество, допуск, регион и срок. Без имени покупателя и без файлов.
- Короткий список, а не аукционОдин и тот же RFQ получают не более 3 предприятий.
- Прямые отношенияВы даёте цену покупателю, выставляете счёт покупателю и сохраняете клиента.
Поставляете тем, кто делает такие детали?
Материал вакуумного класса, режущий инструмент и оснастка, обработка поверхности и покрытия, прецизионная очистка и упаковка для чистой комнаты, метрология и испытания на течь или газовыделение. Расскажите, что Вы продаёте, и мы познакомим Вас с предприятиями, которым это нужно.
Знакомство бесплатно. Никто не платит за упоминание в руководстве.
- Знакомство, а не списокМы не продаём списки контактов. Один поставщик и одно предприятие за раз, и только если предприятие согласно.
- Упоминание только по делуПоставщик появляется в руководстве, когда это подкрепляет технический довод, и никогда как платное размещение.
Вопросы покупателей
Вы сами обрабатываете детали?
Нет. Мы сервис подбора, а не механообрабатывающее предприятие. У нас нет станков, и мы не рассчитываем детали. Предприятия, которые Вам ответят, работают на своих станках, и заказ Вы размещаете у них.
Бесплатно ли это для покупателей?
Да. Отправка RFQ и получение предложений ничего Вам не стоят. Предприятия платят нам за подобранный запрос. Цену, срок и условия Вы согласуете с предприятием.
Кто видит мой чертёж?
Сначала предприятия видят превью с семейством детали, материалом, габаритами, количеством, допуском и сроком. В превью нет ни имени, ни компании, ни файлов. Ваши контакты и файлы получают только подобранные нами предприятия, не более 3. Если Вы просите NDA, файлы остаются у нас до его подписания.
Как Вы решаете, какие предприятия получат мой RFQ?
Два фильтра. Сначала семейство детали и спецификация на чертеже, чтобы предприятие, которое никогда не выдерживало Ra 0.4 um на уплотнительной поверхности, не получало уплотнительную деталь. Затем регион поставщика, который Вы выбираете в форме.
Можете ли Вы работать с деталями по действующей аттестации или спецификации фабрики?
Приложите спецификацию к чертежу. Если деталь связана с аттестацией, названной процедурой очистки или стандартом упаковки конкретной фабрики, укажите это в описании. Предприятиям, которые не могут выполнить требование, лучше не делать расчёт.
Какие файлы отправлять?
Модель STEP или IGES и чертёж в PDF с допусками, требованиями к чистоте поверхности, материалом и состоянием поставки, а также любыми примечаниями по очистке и упаковке. DWG и DXF тоже подходят. Модель без чертежа обычно возвращается с вопросами, а не с ценой.
Руководства
Спецификации, факторы стоимости и вопросы поставщикам, написанные для того, у кого в руках чертёж.
- Стоимость
Обработка showerhead: как число отверстий, отношение глубины к диаметру и заусенцы формируют цену
Как формируется цена обработки showerhead: число отверстий, диаметр, толщина плиты, контроль заусенцев и рост покрытия, с таблицей времени сверления и перечнем.
- Процесс
Протоколы контроля CMM для деталей камер: как измеряют плоскостность и что запросить
Как работает контроль CMM деталей камер для полупроводников: плоскостность по поверхностям, число точек, температура, содержание протокола и что написать в RFQ.
- Материалы
Нержавеющая сталь 316L VIM-VAR для газовых линий UHP: когда двойной переплав стоит указывать
Что такое 316L VIM-VAR, чем она отличается от стали воздушной плавки, где важны низкая сера и чистые включения и что запросить в заводском сертификате.