Usinage CNC de pièces pour équipements semi-conducteurs
Envoyez un plan et la spécification qui compte vraiment. Nous le transmettons à 3 ateliers d’usinage au plus qui usinent déjà cette classe de pièces, et vous recevez une réponse sous 24 heures ouvrées.
Pourquoi les acheteurs envoient ici leurs pièces pour semi-conducteurs
Tout tient au rapprochement : des ateliers adaptés à votre pièce, dès le premier devis.
Rapprochement par spécialité
Votre demande part vers 3 ateliers au plus qui usinent déjà cette classe de pièces, choisis selon la classe de pièce, la matière et l’exigence de vide. Pas un annuaire généraliste.
Des fournisseurs professionnels
Les ateliers du réseau chiffrent sur votre plan, communiquent clairement et vous tiennent informé pendant la fabrication.
Vous traitez avec l’atelier
Devis, conditions et livraison se décident entre vous et l’atelier. Gratuit pour les acheteurs.
Les pièces que nous orientons
Une niche, quatre familles. Si votre pièce ne figure pas dans cette liste, indiquez-le dans la demande et nous vous dirons franchement si nous pouvons la placer.
Composants de chambre et de couvercle
Grands corps en aluminium et en inox où la planéité, les faces d’étanchéité et l’état de surface intérieur décident de l’étanchéité de la chambre.
- Corps et couvercles de chambre
- Chemises et écrans
- Ébauches de showerhead
- Corps de piédestal et de chauffage
Manipulation de wafers
Pièces fines et légères où la planéité, l’équilibre et le comportement vis-à-vis des particules comptent plus que la tolérance brute.
- Effecteurs terminaux et lames
- Bras et biellettes de transfert
- Chucks et anneaux pour wafers
- Pièces d’aligneur et de lift pin
Distribution de gaz et vide
Petites pièces en contact avec le fluide où l’état de surface intérieur, la propreté et l’étanchéité sont tout le travail.
- Blocs de distribution
- Corps de brides CF et KF
- Corps de traversées et d’adaptateurs
- Corps de vannes et de raccords
Bâtis, gabarits et bancs de test
Travaux de structure et d’outillage sans spécification de vide, où la planéité, le parallélisme et la répétabilité font le prix.
- Bâtis et mécano-soudés
- Supports EFEM et de load port
- Bancs de test et de burn-in
- Gabarits d’assemblage et de manutention
Votre pièce nécessite-t-elle un atelier semi-conducteur ?
Cochez ce qui s’applique. Rien n’est envoyé, la réponse s’affiche ci-dessous.
La plupart de ces exigences coûtent de l’argent sur chaque pièce, l’atelier qui chiffre doit donc déjà y être habitué.
Les pièces pour le vide sont un autre métier
Un atelier peut tenir votre tolérance et pourtant renvoyer une pièce que la fab n’acceptera pas. L’écart vient rarement de l’usinage.
Précision générale
- Matière achetée à la nuance
- Ébavurer, laver, emballer
- Finition chiffrée selon la note du plan
- Rapport de contrôle sur demande
- Mise en carton avec l’emballage habituel
Qualité vide
- Certificat d’usine et lot de coulée conservés avec la pièce
- Zone de manutention propre, sans silicone, consommables maîtrisés
- Ligne de finition qualifiée pour le revêtement demandé
- Rapport dimensionnel livré comme un livrable, pas comme une faveur
- Nettoyage de précision, double sachet, étiquette à l’extérieur du sachet
Demandez à un atelier lesquels des cinq points de droite il réalise en interne et lesquels il sous-traite. La réponse en dit plus qu’une liste de capacités.
Matériaux et plages typiques
Le mot qui compte est « typique ». Ce sont les plages dans lesquelles les ateliers travaillent habituellement, pas une promesse sur votre pièce.
| Matériau | Tolérance typique | Ra typique | Finition usuelle | Utilisation |
|---|---|---|---|---|
| Aluminium 6061-T6 | ±0.01 à ±0.025 mm | 0.4 à 0.8 um | Anodisation dure Type III, anodisation Type II, microbillage | Corps de chambre, couvercles, supports, la plupart des pièces de structure |
| Aluminium 5052 / 5083 | ±0.025 mm | 0.8 à 1.6 um | Anodisation, microbillage | Tôlerie et mécano-soudés, capots, gaines |
| Inox 316L | ±0.01 à ±0.025 mm | 0.2 à 0.4 um | Électropolissage, passivation | Circuits de gaz en contact avec le fluide, brides, équipements UHV |
| Inox 304L | ±0.025 mm | 0.4 à 0.8 um | Passivation, microbillage | Bâtis, structure de vide sans contact avec le fluide |
| Titane Gr 2 / Gr 5 | ±0.01 à ±0.025 mm | 0.4 à 0.8 um | Anodisation, passivation | Zones de procédé corrosives, pièces de structure légères |
| PEEK | ±0.05 mm | 0.8 à 1.6 um | Brut d’usinage, nettoyage de précision | Isolants, pièces en contact avec le wafer, faible dégazage requis |
| Vespel SP-1 | ±0.05 mm | 0.8 à 1.6 um | Brut d’usinage | Isolants haute température, pièces d’usure |
| Alumine 99.5 | ±0.05 mm à l’état fritté | Rectifié selon spécification | Rodage, rectification | Isolants et pièces en contact avec le wafer, en général chez un céramiste |
La tolérance et le Ra s’appliquent à l’élément qui les exige, pas à toute la pièce. Mettre une seule valeur dans le cartouche est le plus sûr moyen d’obtenir un prix dont personne ne voulait. Les nuances avec leurs désignations UNS, EN et JIS figurent sur la page matériaux.
Finition et propreté
Ces étapes interviennent après la dernière passe et portent l’essentiel du risque de délai.
- Anodisation dure Type IIIOxyde d’aluminium épais et dur pour les surfaces exposées au plasma et à l’usure. La pièce grossit, le plan doit donc dire si la tolérance s’applique avant ou après revêtement.
- Anodisation sulfurique Type IIPlus fine et moins chère. Utilisée lorsque la surface exige une résistance à la corrosion mais pas au plasma.
- ÉlectropolissageRetire la couche écrouie par l’usinage sur l’inox et abaisse le Ra intérieur. Standard sur les pièces en contact avec le gaz et les équipements UHV.
- PassivationÉlimination chimique du fer libre sur l’inox. Peu coûteuse, rapide, souvent spécifiée avec l’électropolissage.
- MicrobillageUne surface mate uniforme qui retient les revêtements et masque les traces d’outil. Le média de billage devient lui-même une question de propreté.
- Nettoyage de précision et double sachetRinçage ultrasons ou eau DI, séchage, puis sachet dans un sachet en zone propre. C’est ici qu’un devis bon marché et une pièce utilisable divergent.
Tout le parcours de la matière brute à la pièce emballée, étape par étape : procédés.
Domaines de procédé d’où viennent nos demandes
La famille de pièce compte plus que l’outil dans lequel elle finit, mais l’outil indique à l’atelier à quoi s’attendre.
Dépôt
CVD, PVD et ALD. Corps de chambre, chemises, ébauches de showerhead, pièces de chauffage.
Gravure
Aluminium exposé au plasma avec anodisation dure ou revêtement projeté, plus pièces voisines en quartz et en céramique.
CMP
Têtes porte-wafer, pièces de maintien, collecteurs et raccords en contact avec la slurry.
Implantation ionique
Pièces de ligne de faisceau, supports proches du graphite, structure de vide poussé.
Métrologie et inspection
Platines, supports optiques et de capteurs, supports rigides et légers.
EFEM et manipulation de wafers
Effecteurs terminaux, bras, pièces de load port et d’aligneur, bâtis.
Test et burn-in
Kits de changement, pièces proches des sockets, plaques thermiques, gabarits.
Assemblage et packaging
Gabarits de collage et de manutention, supports, plateaux, plaques d’outillage.
Matériaux, finitions et critères d’acceptation habituels par module : applications.
Comment ça marche
Trois étapes, et la troisième ne nous concerne pas.
Vous envoyez le plan
Modèle, plan, quantité, exigences de finition et de propreté, et la région de fournisseurs souhaitée. Un NDA d’abord si vous en avez besoin.
Nous contrôlons et orientons
Nous vérifions que la demande est complète, puis nous la proposons à 3 ateliers au plus dont les machines, les matières et la chaîne de finition conviennent à la pièce. Les ateliers voient un aperçu sans nom ni fichier.
L’atelier vous chiffre directement
Vous comparez les devis, posez vos propres questions et commandez auprès de l’atelier que vous choisissez. Nous ne prélevons aucune commission sur cette commande.
Ce qui fait le prix
À lire avant de resserrer une cote sur le plan.
- Matière et niveau de certificationUne plaque 6061 avec certificat d’usine et une barre 316L avec traçabilité de coulée sont deux achats différents. Les listes de matières restreintes réduisent le nombre d’ateliers qui peuvent acheter la matière.
- Tolérance et géométrieLes grandes faces d’étanchéité planes, les poches profondes et les parois minces imposent du bridage et des cycles de détensionnement. Une tolérance plus serrée que la fonction ne l’exige se paie sur chaque pièce.
- État de surfaceRa 0.8 um sort directement de l’outil de coupe. Ra 0.4 um et mieux demande une passe de finition, des avances plus lentes et un contrôle, et ne s’applique que là où le plan l’indique.
- Chaîne de finitionL’anodisation, l’électropolissage et la passivation sont des procédés externes. Chacun ajoute des jours, un transport et un risque de reprise si le masquage est erroné.
- Propreté et emballageLe nettoyage de précision, l’emballage salle blanche et la purge à l’azote sont des postes de prix, pas des gestes de courtoisie. Demandez-les sur le plan ou attendez-vous à la méthode la moins chère.
- Quantité et répétitionLa programmation et les outillages se paient une fois. Sur 1 à 5 pièces, ils font l’essentiel du prix, et l’annonce d’une répétition attendue fait en général baisser aussi la première commande.
Envoyer une demande rapide
Quatre champs et un fichier. Si vous préférez remplir le formulaire complet avec matière, tolérance, finition et région, utilisez la page de demande complète.
Vous préférez l’e-mail ? Écrivez à et joignez le plan.
Vous usinez déjà ces pièces ?
Nous vendons chaque demande contrôlée sous forme de lead aux ateliers d’usinage qui conviennent à la pièce. Vous achetez le lead, vous chiffrez directement à l’acheteur et vous gardez toute la commande. Nous ne prélevons aucune commission sur ce que vous remportez.
L’inscription est gratuite et ne vous engage à rien acheter.
- Vous voyez d’abord un aperçuFamille de pièce, matière, encombrement, quantité, tolérance, région et échéance. Ni nom d’acheteur, ni fichier.
- Une courte liste, pas une enchère3 ateliers au plus reçoivent la même demande.
- Relation directeVous chiffrez à l’acheteur, vous le facturez, vous gardez le client.
Vous fournissez les ateliers qui usinent ces pièces ?
Matière de qualité vide, outils de coupe et outillages de bridage, traitement de surface et revêtement, nettoyage de précision et emballage salle blanche, métrologie et essais d’étanchéité ou de dégazage. Dites-nous ce que vous vendez et nous vous présentons aux ateliers qui en ont besoin.
Les mises en relation sont gratuites. Personne ne paie pour être cité dans un guide.
- Une mise en relation, pas une listeNous ne vendons pas de listes de contacts. Un fournisseur et un atelier à la fois, et seulement lorsque l’atelier est d’accord.
- Cité uniquement quand c’est pertinentUn fournisseur apparaît dans un guide lorsqu’il appuie un point technique, jamais comme emplacement payant.
Questions fréquentes des acheteurs
Usinez-vous vous-mêmes les pièces ?
Non. Nous sommes un service de mise en relation, pas un atelier d’usinage. Nous ne possédons aucune machine et ne chiffrons aucune pièce. Les ateliers qui vous répondent exploitent les machines, et vous passez la commande chez eux.
Est-ce gratuit pour les acheteurs ?
Oui. Envoyer une demande et recevoir des devis ne vous coûte rien. Les ateliers d’usinage nous paient pour une demande qualifiée. Le prix, le délai et les conditions sont convenus entre vous et l’atelier.
Qui voit mon plan ?
Les ateliers voient d’abord un aperçu avec la famille de pièce, la matière, l’encombrement, la quantité, la tolérance et l’échéance. L’aperçu ne comporte ni nom, ni société, ni fichier. Vos coordonnées et vos fichiers ne vont qu’aux ateliers que nous retenons, 3 au plus. Si vous demandez un NDA, les fichiers restent chez nous jusqu’à sa signature.
Comment décidez-vous quels ateliers reçoivent ma demande ?
Deux filtres. D’abord la famille de pièce et la spécification du plan, de sorte qu’un atelier qui n’a jamais tenu Ra 0.4 um sur une face d’étanchéité ne voit pas une pièce d’étanchéité. Ensuite la région de fournisseurs que vous choisissez dans le formulaire.
Pouvez-vous traiter des pièces soumises à une qualification existante ou à une spécification de fab ?
Envoyez la spécification avec le plan. Si la pièce est liée à une qualification, à une procédure de nettoyage nommée ou à une norme d’emballage propre à la fab, indiquez-le dans la description. Les ateliers qui ne peuvent pas la respecter ont intérêt à ne pas chiffrer.
Quels fichiers dois-je envoyer ?
Un modèle STEP ou IGES et un plan PDF avec tolérances, exigences d’état de surface, matière et état de livraison, ainsi que toute note de propreté ou d’emballage. Les formats DWG et DXF conviennent aussi. Un modèle sans plan revient en général avec des questions plutôt qu’avec un prix.
Guides
Spécifications, facteurs de coût et questions à poser aux fournisseurs, écrits pour la personne qui tient le plan.
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