Przejdź do treści
SemiCNC

Obróbka CNC części do urządzeń półprzewodnikowych

Proszę wysłać jeden rysunek i specyfikację, która naprawdę ma znaczenie. Przekażemy go do 3 warsztatów obróbczych, które już wykonują tę klasę części, a odpowiedź otrzymają Państwo w ciągu 24 godzin roboczych.

CiśnienieKlasa części10-9 TorrElementy UHVKomory wygrzewalne, 316L polerowane elektrolitycznie, wszystkie spoiny z pełnym przetopem10-6 TorrKomora procesowaPokrywy, wkłady, półfabrykaty showerhead, korpusy podstaw, powierzchnie uszczelniające10-3 TorrŚluza i transferKorpusy zaworów szczelinowych, chwytaki, ramiona transferowe, kołnierze mieszkówATMRamy, EFEM i przyrządyBez wymagań próżniowych, ale płaskość i równoległość nadal decydują o pasowaniu
Ciśnienie, jakie widzi część, decyduje o materiale, wykończeniu i opakowaniu na długo, zanim zadecyduje o tolerancji.
Bezpłatnie dla kupującychWarsztaty płacą za dopasowane zapytania, kupujący nie płaci nic.
Do 3 warsztatówJedno RFQ, krótka lista, nie aukcja.
NDA na życzeniePliki zostają u nas do czasu podpisania.
24 godziny roboczePierwsza odpowiedź, także gdy brzmi ona: nie.

Dlaczego kupujący wysyłają tu zapytania na części dla półprzewodników

Chodzi o dopasowanie: warsztaty pasujące do Państwa części od pierwszej oferty.

  1. Dopasowanie według specjalizacji

    Zapytanie trafia do maksymalnie 3 warsztatów, które już wykonują tę klasę części, wybranych według klasy części, materiału i wymagań próżniowych. To nie jest ogólny katalog.

  2. Profesjonalni dostawcy

    Warsztaty w sieci wyceniają według rysunku, komunikują się jasno i informują o postępach w trakcie produkcji.

  3. Bezpośrednio z warsztatem

    Ofertę, warunki i dostawę uzgadniają Państwo bezpośrednio z warsztatem. Bezpłatnie dla kupujących.

Części, które obsługujemy

Jedna nisza, cztery rodziny. Jeśli części nie ma na liście, proszę napisać o tym w RFQ, a powiemy wprost, czy potrafimy ją dopasować.

Elementy komór i pokryw

Duże korpusy aluminiowe i ze stali nierdzewnej, w których płaskość, powierzchnie uszczelniające i wykończenie wnętrza decydują o szczelności komory.

  • Korpusy komór i pokrywy
  • Wkłady i osłony
  • Półfabrykaty showerhead
  • Korpusy podstaw i grzałek

Obsługa wafli

Cienkie, lekkie części, w których płaskość, wyważenie i emisja cząstek liczą się bardziej niż sama tolerancja.

  • Chwytaki i łopatki
  • Ramiona i człony transferowe
  • Uchwyty i pierścienie wafli
  • Części układu centrowania i trzpieni podnoszących

Dostawa gazu i próżnia

Małe części w kontakcie z gazem, w których wykończenie wewnętrzne, czystość i szczelność są całym zadaniem.

  • Bloki rozdzielcze
  • Korpusy kołnierzy CF i KF
  • Korpusy przepustów i adapterów
  • Korpusy zaworów i złączek

Ramy, przyrządy i oprzyrządowanie testowe

Konstrukcje i oprzyrządowanie bez wymagań próżniowych, w których płaskość, równoległość i powtarzalność wyznaczają cenę.

  • Ramy maszyn i konstrukcje spawane
  • Wsporniki EFEM i load portów
  • Przyrządy testowe i burn-in
  • Przyrządy montażowe i transportowe

Czy część wymaga warsztatu z doświadczeniem w półprzewodnikach?

Proszę zaznaczyć to, co pasuje. Nic nie jest nigdzie wysyłane, odpowiedź pojawia się poniżej.

Proszę zaznaczyć pasujące pola

Większość tych wymagań kosztuje przy każdej sztuce, więc warsztat wyceniający powinien już je znać.

Praca na poziomie próżniowym to inne zadanie

Warsztat może utrzymać tolerancję, a część i tak zostanie odrzucona przez fabrykę. Różnica rzadko leży w samej obróbce.

Ogólna precyzja

  • Materiał kupowany wg gatunku
  • Gratowanie, mycie, zawinięcie
  • Wykończenie wyceniane wg uwagi na rysunku
  • Raport kontrolny na życzenie
  • Pakowanie w zwykły karton

Poziom próżniowy

  • Certyfikat hutniczy i partia wytopu dołączone do części
  • Czyste stanowisko obsługi, bez silikonu, kontrolowane media
  • Linia wykończeniowa zakwalifikowana do wskazanej powłoki
  • Raport wymiarowy jako element dostawy, nie przysługa
  • Czyszczenie precyzyjne, podwójny worek, etykieta na zewnątrz worka
Wrzeciono frezujące okrągły element aluminiowy, zwykła pierwsza operacja na elemencie komory urządzenia półprzewodnikowego

Warto zapytać warsztat, które z pięciu punktów po prawej wykonuje we własnym zakresie, a które kupuje. Odpowiedź mówi więcej niż lista możliwości.

Materiały i typowe zakresy

Kluczowe jest słowo typowe. To zakresy, w których warsztaty zwykle pracują, a nie obietnica dla Państwa części.

MateriałTypowa tolerancjaTypowe RaZwykłe wykończenieZastosowanie
Aluminum 6061-T6±0.01 to ±0.025 mm0.4 to 0.8 umAnodowanie twarde Type III, anodowanie Type II, piaskowanie kulkoweKorpusy komór, pokrywy, wsporniki, większość części konstrukcyjnych
Aluminum 5052 / 5083±0.025 mm0.8 to 1.6 umAnodowanie, piaskowanie kulkoweElementy z blachy i konstrukcje spawane, osłony, kanały
Stainless 316L±0.01 to ±0.025 mm0.2 to 0.4 umPolerowanie elektrolityczne, pasywacjaŚcieżki gazowe w kontakcie z medium, kołnierze, elementy UHV
Stainless 304L±0.025 mm0.4 to 0.8 umPasywacja, piaskowanie kulkoweRamy, konstrukcja próżniowa bez kontaktu z medium
Titanium Gr 2 / Gr 5±0.01 to ±0.025 mm0.4 to 0.8 umAnodowanie, pasywacjaKorozyjne strefy procesowe, lekkie części konstrukcyjne
PEEK±0.05 mm0.8 to 1.6 umPo obróbce, czyszczenie precyzyjneIzolatory, części w kontakcie z waflem, niskie odgazowanie
Vespel SP-1±0.05 mm0.8 to 1.6 umPo obróbceIzolatory wysokotemperaturowe, części ścieralne
Alumina 99.5±0.05 mm po wypaleniuSzlifowane do specyfikacjiDocieranie, szlifowanieIzolatory i części w kontakcie z waflem, zwykle od wytwórcy ceramiki

Tolerancja i Ra dotyczą elementu, który ich wymaga, a nie całej części. Jedna liczba w tabliczce rysunkowej to najszybsza droga do ceny, której nikt nie chciał. Gatunki z oznaczeniami UNS, EN i JIS znajdują się na stronie o materiałach.

Wykończenie i czystość

Te kroki następują po ostatnim cięciu i niosą większość ryzyka terminowego.

  • Anodowanie twarde Type IIIGruba, twarda warstwa tlenku aluminium dla powierzchni narażonych na plazmę i ścieranie. Powiększa część, więc rysunek musi wskazać, czy tolerancja dotyczy stanu przed czy po powłoce.
  • Anodowanie siarkowe Type IICieńsze i tańsze. Stosowane tam, gdzie powierzchnia wymaga odporności na korozję, ale nie na plazmę.
  • Polerowanie elektrolityczneUsuwa rozmazaną po obróbce warstwę ze stali nierdzewnej i obniża Ra wewnątrz. Standard dla części w kontakcie z gazem i elementów UHV.
  • PasywacjaChemiczne usuwanie wolnego żelaza ze stali nierdzewnej. Tania, szybka, często wskazywana razem z polerowaniem elektrolitycznym.
  • Piaskowanie kulkoweJednolita matowa powierzchnia, na której trzymają się powłoki i której nie widać śladów narzędzia. Samo ścierniwo kulkowe staje się kwestią czystości.
  • Czyszczenie precyzyjne i podwójny worekPłukanie ultradźwiękowe lub wodą DI, suszenie, a potem worek w worku w strefie czystej. Tu rozchodzą się tania wycena i część nadająca się do użycia.

Cała droga od materiału do części zapakowanej w worek, krok po kroku: procesy.

Obszary procesowe, z których otrzymujemy RFQ

Rodzina części liczy się bardziej niż urządzenie, w którym trafi, ale urządzenie mówi warsztatowi, czego się spodziewać.

Osadzanie

CVD, PVD i ALD. Korpusy komór, wkłady, półfabrykaty showerhead, części grzałek.

Trawienie

Aluminium narażone na plazmę z anodowaniem twardym lub powłoką natryskową oraz sprzęt przyległy z kwarcu i ceramiki.

CMP

Głowice, elementy mocujące, bloki rozdzielcze i złączki w kontakcie z zawiesiną.

Implantacja jonów

Elementy linii wiązki, mocowania przyległe z grafitu, konstrukcja wysokiej próżni.

Metrologia i inspekcja

Stoły, mocowania układów optycznych i czujników, sztywne lekkie wsporniki.

EFEM i obsługa wafli

Chwytaki, ramiona, części load portów i centrowania, ramy.

Testy i burn-in

Zestawy wymienne, sprzęt przyległy do gniazd, płyty termiczne, przyrządy.

Montaż i pakowanie

Przyrządy do bondowania i transportu, nośniki, tacki, płyty oprzyrządowania.

Zwykłe materiały, wykończenia i punkty odbioru dla poszczególnych modułów: zastosowania.

Jak to działa

Trzy kroki, a trzeci odbywa się bez nas.

  1. Wysłanie rysunku

    Model, rysunek, ilość, wymagania dotyczące wykończenia i czystości oraz preferowany region dostawcy. Najpierw NDA, jeśli jest potrzebne.

  2. Sprawdzamy i dopasowujemy

    Sprawdzamy kompletność RFQ, a następnie oferujemy je do 3 warsztatów, których maszyny, materiały i łańcuch wykończenia pasują do części. Warsztaty widzą podgląd bez nazwy i bez plików.

  3. Warsztat wycenia bezpośrednio kupującemu

    Kupujący porównuje wyceny, zadaje własne pytania i zamawia w wybranym warsztacie. Nie pobieramy prowizji od tego zamówienia.

Co decyduje o cenie

Warto przeczytać, zanim zaostrzy się wartość na rysunku.

  • Materiał i poziom certyfikacjiPłyta 6061 z certyfikatem hutniczym i pręt 316L z identyfikowalnością partii wytopu to dwa różne zakupy. Listy materiałów ograniczonych zawężają grono warsztatów, które w ogóle mogą kupić materiał.
  • Tolerancja i geometriaDuże płaskie powierzchnie uszczelniające, głębokie kieszenie i cienkie ścianki podnoszą koszt mocowania i cykli odprężania. Tolerancja o jeden stopień ciaśniejsza, niż wymaga funkcja, jest opłacana przy każdej sztuce.
  • Wykończenie powierzchniRa 0.8 um uzyskuje się prosto z noża. Ra 0.4 um i lepsze wymaga przejścia wykańczającego, wolniejszych posuwów i kontroli, i dotyczy tylko miejsc wskazanych na rysunku.
  • Łańcuch wykończeniaAnodowanie, polerowanie elektrolityczne i pasywacja to procesy zewnętrzne. Każdy dodaje dni, odcinek transportu i ryzyko poprawek, jeśli maskowanie jest błędne.
  • Czystość i pakowanieCzyszczenie precyzyjne, pakowanie w worki do pomieszczeń czystych i przedmuch azotem to pozycje kosztowe, a nie uprzejmości. Należy je wpisać na rysunku, inaczej zostanie użyta tańsza metoda.
  • Ilość i powtórzeniaProgramowanie i oprzyrządowanie płaci się raz. Przy 1 do 5 sztuk to większość ceny, a zadeklarowane powtórzenia zwykle obniżają też pierwsze zamówienie.

Szybkie RFQ

Cztery pola i plik. Jeśli wolą Państwo wypełnić pełny formularz z materiałem, tolerancją, wykończeniem i regionem, proszę skorzystać z pełnej strony RFQ.

Wolą Państwo e-mail? Proszę napisać na i dołączyć rysunek.

STEP, IGES, PDF, DWG, DXF lub zip. Jeśli nie możesz przesłać plików tutaj, wyślij je e-mailem na i podaj nazwę części.
Pierwsza odpowiedź w ciągu 24 godzin roboczych.

Warsztat wykonuje już takie części?

Każde sprawdzone RFQ sprzedajemy jako lead warsztatom obróbczym, które pasują do części. Warsztat kupuje lead, wycenia bezpośrednio kupującemu i zatrzymuje całe zamówienie. Nie pobieramy prowizji od wygranego zamówienia.

Rejestracja jest bezpłatna i nie zobowiązuje do żadnego zakupu.

  • Najpierw podglądRodzina części, materiał, gabaryt, ilość, tolerancja, region i termin. Bez nazwy kupującego, bez plików.
  • Krótka lista, nie aukcjaTo samo RFQ otrzymuje do 3 warsztatów.
  • Bezpośrednia relacjaWarsztat wycenia kupującemu, fakturuje kupującemu i zatrzymuje klienta.

Dostarczają Państwo do warsztatów wykonujących te części?

Materiał o jakości próżniowej, narzędzia skrawające i mocowania, obróbka powierzchni i powłoki, czyszczenie precyzyjne i pakowanie do pomieszczeń czystych, metrologia oraz testy szczelności lub odgazowania. Prosimy napisać, co Państwo sprzedają, a przedstawimy Państwa warsztatom, które tego potrzebują.

Przedstawienie jest bezpłatne. Nikt nie płaci za wzmiankę w poradniku.

  • Przedstawienie, nie listaNie sprzedajemy list kontaktów. Jeden dostawca i jeden warsztat naraz, i tylko za zgodą warsztatu.
  • Wymieniani tylko tam, gdzie pasujeDostawca pojawia się w poradniku, gdy wspiera punkt techniczny, nigdy jako płatne miejsce.

Pytania kupujących

Czy sami obrabiacie części?

Nie. Jesteśmy usługą dopasowania, nie warsztatem obróbczym. Nie mamy maszyn i nie wyceniamy części. Warsztaty, które odpisują Państwu, obsługują maszyny, a zamówienie składa się u nich.

Czy to jest bezpłatne dla kupujących?

Tak. Wysłanie RFQ i otrzymanie wycen nic nie kosztuje. Warsztaty obróbcze płacą nam za dopasowane zapytanie. Cenę, termin i warunki ustala się z warsztatem.

Kto widzi mój rysunek?

Warsztaty najpierw widzą podgląd z rodziną części, materiałem, gabarytem, ilością, tolerancją i terminem. Podgląd nie zawiera nazwiska, firmy ani plików. Dane kontaktowe i pliki trafiają tylko do dopasowanych warsztatów, do 3. Jeśli zostanie zgłoszona prośba o NDA, pliki zostają u nas do czasu jego podpisania.

Jak decydujecie, które warsztaty dostaną moje RFQ?

Dwa filtry. Najpierw rodzina części i specyfikacja na rysunku, żeby warsztat, który nigdy nie utrzymał Ra 0.4 um na powierzchni uszczelniającej, nie widział części uszczelniającej. Potem region dostawcy wybrany w formularzu.

Czy obsługujecie części objęte istniejącą kwalifikacją lub specyfikacją fabryki?

Specyfikację należy wysłać razem z rysunkiem. Jeśli część jest powiązana z kwalifikacją, nazwaną procedurą czyszczenia lub normą pakowania specyficzną dla fabryki, należy napisać o tym w opisie. Warsztaty, które nie mogą tego spełnić, lepiej niech nie wyceniają.

Jakie pliki należy wysłać?

Model STEP lub IGES oraz rysunek PDF z tolerancjami, wymaganiami wykończenia, materiałem i stanem obróbki cieplnej oraz uwagami o czystości lub pakowaniu. DWG i DXF też działają. Sam model bez rysunku zwykle wraca z pytaniami zamiast z ceną.