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진공 부품의 청결도, 표면 마감, 재료 규정

2026년 9월 26일

진공 부품은 성적서의 모든 치수 검사를 통과하고도 반려될 수 있습니다. 이유는 거의 언제나 도면이 말하지 않은 것입니다. 얼마나 깨끗해야 깨끗한 것인지, 어느 면에 마감이 필요했는지, 건물을 나서는 동안 부품이 무엇에 닿아도 되었는지입니다.

이 분야에서 청결도는 치수처럼 작동합니다. 목표가 있고, 측정이 있고, 비용이 있으며, 규격을 벗어날 수도 있습니다. 차이는 대부분의 도면이 형상은 꼼꼼하게 치수 기입하면서 청결도는 추측에 맡긴다는 점입니다.

청결도가 치수인 이유

대기 중에서 지문은 미관의 문제입니다. 10-6 Torr에서는 챔버가 진공인 동안 계속 증발하는 탄화수소의 발생원입니다. 펌프가 그것을 제거해야 하고, 배기에 시간이 더 걸리며, 부품이 웨이퍼 위에 있다면 오염이 문제가 되는 곳에 떨어집니다. 이것이 아웃가싱이며, 세정의 손쉬운 생략을 업체 작업대에서는 보이지 않는, 몇 주 뒤 팹에서의 일정 문제로 바꿉니다.

형상도 같은 문제에 기여합니다. 나사가 들어간 막힌 탭 구멍은 가스 포켓을 품고, 챔버로 천천히 새어 들어가며 완전히 빠지지 않습니다. UHV 부품에 벤트 나사와 관통 구멍이 쓰이는 이유가 이것이고, 10-3 Torr에서 괜찮은 설계가 치수 하나 바꾸지 않고도 10-9 Torr에서는 쓸 수 없게 될 수 있는 이유입니다.

그다음은 파티클 발생인데, 이것은 설계 문제가 아니라 가공업체의 문제입니다. 파티클은 짧고 예측 가능한 목록에서 나옵니다.

• 이전 작업의 블라스트 매체가 구석에 남은 것
• 포켓에서 말라붙은 절삭유 잔여물
• 작업용 천과 장갑, 특히 실리콘이 묻은 것
• 백. 잘못된 백이거나 잘못된 방에서 봉한 경우

실리콘은 별도의 항목이 필요합니다. 이동하고, 부품에 묻으면 거의 제거할 수 없으며, 훨씬 하류에서 불량으로 나타납니다. 반도체 작업을 하는 업체는 건물에서 완전히 배제합니다. 그렇지 않은 업체에는 그것을 생각할 이유가 없었습니다.

면별 표면 마감

세 가지 Ra 값이 대부분의 진공 도면을 덮으며, 하나의 척도 위 세 단계가 아닙니다. 세 가지 서로 다른 제조상의 결정입니다.

지정	달성 방법	주 용도
Ra 0.8 um	보통의 마무리 패스	일반 면, 중요하지 않은 면
Ra 0.4 um	더 느린 패스, 더 날카로운 공구, 검사 단계	실링면, O-링 홈
Ra 0.2 um 이하	후공정, 보통 외부	접액 내부, 웨이퍼 접촉, UHV

숫자는 지정의 절반일 뿐입니다. 나머지 절반은 그것이 적용되는 면적이고, 돈은 거기에 있습니다. O-링 홈 면 하나의 Ra 0.4 um는 거의 비용이 들지 않습니다. 표제란에 있는 같은 지정은 아무도 보지 않을 면까지 포함해 부품 전체를 Ra 0.4 um로 값을 매깁니다.

세 종류의 면은 세 가지 다른 이유로 마감이 필요하므로, 세 개의 별도 주석을 받을 만합니다.

실링면. 마감의 목적은 엘라스토머가 밀봉하고 열 사이클을 거치면서도 계속 밀봉하게 하는 것입니다. 평균 Ra보다 홈을 가로지르는 긁힘이 더 중요합니다.

웨이퍼 접촉면. 마감의 목적은 부품이 파티클을 발생시키거나 웨이퍼에 자국을 남기지 않게 하는 것입니다. 보통 평탄도가 함께 지정됩니다.

내부 접액 표면. 마감의 목적은 흡착 가스를 붙잡는 표면적을 줄이고 잔여물을 가두는 텍스처를 줄이는 것입니다. 대개 전해연마를 뜻하는 것이 이 면입니다.

마감은 코팅과 함께 읽어야 하기도 합니다. Type III 경질 아노다이즈는 부품을 키우고 표면을 바꾸므로, 도면에 Ra와 치수가 코팅 전에 적용되는지 후에 적용되는지를 밝혀야 합니다. 치수는 맞게 측정되는데 조립되지 않는 부품은 거의 이 실수입니다.

허용되는 재료

이 분야의 재료 목록은 짧고, 이유는 구체적입니다.

6061-T6는 챔버 본체, 리드, 브래킷의 기본입니다. 예측 가능하게 가공되고 아노다이즈가 잘 됩니다. 강도보다 내식성이 중요한 곳에서는 5052 또는 5083이 더 나은 답인 경우가 많으며, 큰 플레이트 부품에서는 입고 소재의 열처리 상태와 평탄도가 등급만큼 중요합니다. 응력이 제거되지 않은 플레이트는 가공 중에 움직이기 때문입니다.

316L은 접가스 유로의 기본이며, L은 선택 사항이 아닙니다. 저탄소는 용접을 거치는 동안 결정립계를 깨끗하게 유지하며, 그래서 이음부가 부식성 라인에서 견딥니다. 304L은 구조와 공정 가스를 만나지 않는 진공 부품에는 허용됩니다. 접가스 유로에 비용을 아끼려고 쓰는 것은 나중에 발견되는 결정입니다.

티타늄은 특정 부식성 영역과 강도 대 무게비가 필요한 부품, 대개 웨이퍼 핸들링 암에 나타납니다.

PEEK, Vespel, 알루미나는 작업이 금속 가공업체를 벗어나는 지점입니다. 절연체, 씰 캐리어, 웨이퍼 접촉 패드, 링입니다. 여기서는 플라스틱이나 세라믹 전문 업체가 맞는 공급처이며, 알루미나 링에 예라고 답하는 금속 가공업체는 대개 알리지 않고 외주를 주려는 참입니다.

사용 제한 재료 목록은 이 모든 것 위에 얹힙니다. 팹은 특정 합금 원소, 특정 제강소, 특정 코팅 화학을 배제할 수 있습니다. 제한 하나마다 공급처 풀이 좁아지고, 그 주에 재고가 있는 곳에서 사 오는 업체는 요구를 전혀 충족할 수 없습니다. 첫 반려 뒤가 아니라 첫 주문 전에 아는 것이 좋습니다.

세정 지정

세정은 작업 범위이므로 그렇게 읽혀야 합니다.

탈지는 어느 업체나 하는 것입니다. 용제로 닦으면 끝입니다. 프레임, 지그, 대기 중에 머무는 모든 것에 적합합니다.

정밀 세정은 관리된 물, 관리된 건조, 마지막에 관리된 공간이 있는 다단계 공정입니다. 실제 비용과 시간이 들며, 업체에는 그것을 할 장소가 있어야 합니다.

지정된 팹 절차는 가장 엄격한 경우입니다. 고객이 문서를 제공하고, 업체가 따르며, 양측이 합의한 내용을 압니다.

검증은 보통 와이프 테스트이며, 그것이 실제로 무엇을 확인하는지 아는 것이 좋습니다. 정해진 면적을 관리된 방식으로 닦고 그 와이프를 검사하면 눈에 보이는 잔여물과 파티클을 알 수 있습니다. 분자 수준의 오염은 알려 주지 않으므로, 깨끗한 와이프 테스트와 실리콘 문제가 공존할 수 있습니다.

포장은 이 모든 것을 무효로 만들 마지막 기회입니다. 이중 포장을 기본으로 하고, 팹이 요구하면 클린룸 백, 내용물을 확인하려고 안쪽 백을 열지 않도록 바깥쪽에 라벨, 필요한 부품에는 질소 퍼지를 합니다. 팹 청결도 등급은 ISO 14644에서 나오며, 입고 구역이 그중 하나로 운영된다면 포장이 맞아야 하고, 그렇지 않으면 부품은 도착했을 때 이미 더럽습니다.

도면에 쓰기

이 주석이 있으면 진공 부품은 견적 가능해집니다. 여기에 도착하는 도면 대부분은 적어도 하나가 빠져 있습니다.

1. 재료 등급, 열처리 상태, 밀 시트 또는 히트 로트 추적성이 필요한지 여부.
2. 특정 면에 대해 지정한 표면 마감, 코팅 전 또는 후에 적용되는지에 대한 주석 포함.
3. 표면 처리 체인의 이름: 아노다이즈 종류, 전해연마, 부동태화, 마스킹할 면.
4. 세정 수준의 이름, 그리고 있다면 절차 문서.
5. 포장 기준. 백과 퍼지 필요 여부 포함.
6. 취급 제한. 부품이 팹 가까이에 간다면 실리콘을 명시적으로 지목.

가장 자주 빠지는 셋은 세정 수준, 포장 기준, 코팅 전후 주석입니다. 각각 한 줄입니다. 각각 빠지면 너무 낮게 돌아오는 견적과 잘못 돌아오는 부품이 됩니다.

이 목록으로 업체를 직접 감사하고 싶지 않으시다면, 그것이 이 사이트가 하는 일입니다. 도면을 보내시면 이 부품군을 이미 가공하고 있는 업체에 전달됩니다. 비용 측면은 챔버 및 웨이퍼 핸들링 부품 비용 요인도 참고하십시오.

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